低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400

低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400は、横河電機の酸素濃度計の長年の経験と実績をもとに0-10 ppmO2の低濃度から0-100 vol%O2まで1台で測定できる高精度・高信頼性の酸素濃度計です。
センサは、横河電機独自の薄膜形成法を採用し、ジルコニア素子と白金が分子的に結合するため剥離がなく、高速応答で長寿命の小型・高信頼性ジルコニアセンサです。
半導体の拡散炉、乾燥炉、液晶製造プロセスにおける酸素濃度管理、ハンダ槽フロー・リフロー炉、グローブボックス、ガス製造プロセスにおける酸素濃度管理、粉体移送の粉塵爆発対策用酸素濃度測定等に使用できます。

特長

長寿命・高速応答

  • 横河電機独自の薄膜形成法を採用、従来製品に比べ約3倍長寿命(当社比)
  • 測定ガスの置換が容易な円筒型センサで高速応答を実現

高性能・高信頼性

  • 低酸素濃度領域でも優れた繰返し性および直線性
  • アプリケーションに応じたサンプリング方式、(ポンプ、アスピレータ)の選択が可能
  • 各種海外規格(CE、C-Tick、cCSAus)を取得

各種機能を内蔵、自己診断機能を充実

  • マルチセレクタ機能、自動レンジ機能、パーシャルレンジ機能、ポンプON/OFF機能を搭載
  • センサ異常、ヒータ温度異常、温度センサ断線、センサ抵抗値異常など各種自己診断機能を充実

優れたメンテナンス性

  • 現場でセンサ交換が可能
  • 小型・軽量で、省スペースを実現

仕様

測定対象ガス 不活性ガス中の酸素濃度(シリコン、可燃性ガス、腐食性ガス、毒性ガスを除く。水滴等の液体を含まないこと)
測定原理 ジルコニア式
サンプリング方式 ポンプまたはアスピレータまたは吸引装置なしから選択
測定範囲 0-10 ppm O2~0-100 vol%O2

 

特性

繰返し性 ±1%FS
直線性 ±2%FS 但し、0-100 ppm 以下では±3%FS
応答性 90%応答 0-1vol%以上;10 秒以内
ドリフト ±2%FS/週
概要:
  •  鶏ふん発電設備の安定操業を支えるCENTUM CS 3000の導入事例
ジルコニア式酸素濃度計の校正は、ゼロガスおよびスパンガスを用いた2点校正とスパンガスだけを用いて行う簡略的な1点校正があります。 (1)2点校正: 下図に、ゼロガスおよび...
ジルコニア式酸素濃度計の校正には、酸素濃度の明確なガスを使用します。 通常は、酸素濃度の低い「ゼロガス」と酸素濃度の高い「スパンガス」の2種類のガスを用いて行います(2点...
ジルコニア式酸素濃度計の校正の概要
(an-zr-06-calibration-overview)
ジルコニア式酸素濃度計のセンサ(セル)起電力は、ネルンスト(Nernst)の式によっています。 センサ(セル)を700~750℃に加熱し、比較ガスに空気を用いたときの測定ガスの酸素濃度...
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燃料の燃焼による排ガス中には、燃料中の炭化水素や水素の燃焼で生じた水蒸気が含まれています。 ジルコニア式酸素濃度計のように、煙道中のガスを直接測定するような場合は、水分...
酸素濃度の測定は、省エネルギー・大気汚染防止・安全管理および品質管理などの目的で広く行われています。 下記に、測定方式別の主なアプリケーション例を列記します。 濃淡電池...
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横河技報
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