横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400

低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400は、横河電機の酸素濃度計の長年の経験と実績をもとに0-10 ppmO2の低濃度から0-100 vol%O2まで1台で測定できる高精度・高信頼性の酸素濃度計です。
センサは、横河電機独自の薄膜形成法を採用し、ジルコニア素子と白金が分子的に結合するため剥離がなく、高速応答で長寿命の小型・高信頼性ジルコニアセンサです。
半導体の拡散炉、乾燥炉、液晶製造プロセスにおける酸素濃度管理、ハンダ槽フロー・リフロー炉、グローブボックス、ガス製造プロセスにおける酸素濃度管理、粉体移送の粉塵爆発対策用酸素濃度測定等に使用できます。

特長

長寿命・高速応答

  • 横河電機独自の薄膜形成法を採用、従来製品に比べ約3倍長寿命(当社比)
  • 測定ガスの置換が容易な円筒型センサで高速応答を実現

高性能・高信頼性

  • 低酸素濃度領域でも優れた繰返し性および直線性
  • アプリケーションに応じたサンプリング方式、(ポンプ、アスピレータ)の選択が可能
  • 各種海外規格(CE、C-Tick、cCSAus)を取得

各種機能を内蔵、自己診断機能を充実

  • マルチセレクタ機能、自動レンジ機能、パーシャルレンジ機能、ポンプON/OFF機能を搭載
  • センサ異常、ヒータ温度異常、温度センサ断線、センサ抵抗値異常など各種自己診断機能を充実

優れたメンテナンス性

  • 現場でセンサ交換が可能
  • 小型・軽量で、省スペースを実現

詳細

仕様

測定対象ガス 不活性ガス中の酸素濃度(シリコン、可燃性ガス、腐食性ガス、毒性ガスを除く。水滴等の液体を含まないこと)
測定原理 ジルコニア式
サンプリング方式 ポンプまたはアスピレータまたは吸引装置なしから選択
測定範囲 0-10 ppm O2~0-100 vol%O2

 

特性

繰返し性 ±1%FS
直線性 ±2%FS 但し、0-100 ppm 以下では±3%FS
応答性 90%応答 0-1vol%以上;10 秒以内
ドリフト ±2%FS/週

関連情報

概要:
  •  鶏ふん発電設備の安定操業を支えるCENTUM CS 3000の導入事例
業種:
酸素濃度の測定は、省エネルギー・大気汚染防止・安全管理および品質管理などの目的で広く行われています。 下記に、測定方式別の主なアプリケーション例を列記します。 濃淡電池式ジルコニア式酸素濃度計   パッケージボイラの燃焼管理   発電ボイラの燃焼管理・燃焼制御   微粉炭ボイラの燃焼管理・燃焼制御   鉄鋼 熱風炉の燃焼管理・燃焼制御   鉄鋼 コークス炉の加熱燃焼排ガスの管理   鉄鋼 加熱炉および均熱炉の低酸素濃度管理   鉄鋼 焼結炉の漏風検知   石灰キルンの燃焼管理   セメントキル...
燃料の燃焼による排ガス中には、燃料中の炭化水素や水素の燃焼で生じた水蒸気が含まれています。 ジルコニア式酸素濃度計のように、煙道中のガスを直接測定するような場合は、水分を含んだままの排ガスを測定しています。このような条件での測定値は、「湿りガスベース」の値と呼ばれます。 一方、排ガスをサンプリングして測定するタイプの濃度計では、試料ガスは濃度計に導かれる過程で常温までガス温度が下げられ、凝縮水となった水分も試料ガスから除去されます。このように、水分を除去して測定した値は、「乾きガスベース」の値と...
酸素濃度計の校正証明書は、下記製品について発行できます。 対象製品 ZR402G 分離型ジルコニア式酸素濃度計 変換器 ZR202G 一体型ジルコニア式酸素濃度計 ZS8C 防爆形ジルコニア式酸素濃度計 変換器 AV550G ジルコニア式酸素濃度計 アベレージングコンバータ TDLS8000 レーザガス分析計 校正証明書の種類としては、下記の4種類が用意できます。 なお、国家検定標準物質を使用しての校正証明書の発行には対応できません。 国家標準との関係を自己宣言したもの...
弊社では、下記のジルコニア式酸素濃度計を用意しています。 アプリケーションおよび使用目的に合わせて選択してください。 ZR22G/ZR402G 分離型ジルコニア式酸素濃度計 ZR202G     一体型ジルコニア式酸素濃度計 ZR8D/ZR8C   防爆形ジルコニア式酸素濃度計 AV550G     ジルコニア式酸素濃度計 アベレージングコンバータ OX400      低濃度ジルコニア式酸素濃度計 ZR22G/ZR402G 分離型ジルコニア式酸素濃度計 検出器と変換器が...
酸素濃度の測定方式 現在市販されている酸素濃度計の測定方法を分類すると下記のようになります。 ジルコニア式: 濃淡電池式 (弊社製品形名:ZR22G/ZR802G, ZR202G, ZS8D/ZS8C, OX400) 限界電流式 (弊社製品形名:OX100, OX102) 磁気式: 磁気流量比式 (弊社製品形名:MG8G, MG8E) 磁気風式 磁気力式ダンベル形 レーザ分光式: レーザ分光式(弊社製品形名:TDLS8000, TDLS8100, TDLS8200) 電極式: ...
空気比とは、燃料を完全に燃焼させるために理論的に必要な空気量(理論空気量)と実際に燃焼用として送り込まれた空気量との比をいいます。 空気比mは、次式によって算出されます。 このように、空気比は排ガス中の酸素濃度を測定することで求めることができます。 図1.空気比と熱効率の関係 図に空気比と熱効率の関係を示します。 燃焼制御において、燃焼用空気が少ない場合(空気比が小さい領域)、燃料は不完全燃焼となり、黒煙が発生します。これによりエネルギー損失が起こり、公害の問題も発生します。 ...
酸素濃度計の中で、「CEマーク」を付している製品は下記のとおりです。 ZR402G 分離型ジルコニア式酸素濃度計 変換器 ZR202G 一体型ジルコニア式酸素濃度計 AV550G ジルコニア式酸素濃度計 アベレージングコンバータ OX400   低濃度ジルコニア式酸素濃度計 TDLS8000 レーザガス分析計 [参考]CEマーキングとは ヨーロッパ連合(EU)地域で販売される指定製品に貼付を義務付けられている安全マークのことです。 従来、EU地域では、各々独...
測定時のジルコニア式酸素濃度計のセンサ(ジルコニア素子)は、700~750℃に加熱されています。 一酸化炭素、水素およびメタンなどの可燃性ガスが存在していると、これらのガスは検出器内で燃焼して酸素を消費するため、酸素濃度計の測定値は実際より小さな値を示します。 したがって、ジルコニア式酸素濃度計は、共存する可燃性ガスの影響を無視できる場合、あるいは影響分を補正できる場合に採用してください。 一般に、ボイラや工業炉などの熱設備から排出される燃焼排ガスは完全燃焼しているので、酸素に比べて一酸化炭素な...
ジルコニア式酸素濃度計では、酸素濃度値が明確で常に一定しているガスを比較ガスにします。通常は、比較ガスとして空気が用いられます。 乾燥空気の酸素濃度は20.95%の一定値ですが、一般に空気には水蒸気が含まれており、この水蒸気が含まれた空気の酸素濃度は温度や湿度によって変わります。 ジルコニア式酸素濃度計は、比較ガス(空気)の温度および湿度が、校正時と測定時とで大きく異なっていると測定誤差が生じます。 計装用空気を比較ガスとする場合は、この誤差は無視することができますが、比較ガスとして計装用空気を...
プラントの運転休止時にジルコニア式酸素濃度計の運転も停止させてしまうと、検出器の接ガス部で結露が生じ、ダスト等を付着させることがあります。この状態で運転を再開すると、センサに付着していたダストが固着して、センサの性能を著しく劣化させてしまいます。 また、凝縮水が溜まっていると、熱ショックでセンサが破損し使用不能となってしまいます。 ジルコニア式酸素濃度計の運転を止めるときは、次の処置を行うことが大切です。 ジルコニア式酸素濃度計の電源は、供給したままにしておきます。 また、比較空気も流し...
定期的に運転、休止を繰り返すようなアプリケーションで使用する場合は、ジルコニア式酸素濃度計には電源を連続して供給してください。センサ周りに不要な温度変化がかかるのを避けるためです。 また、校正用ガス(計装空気)を流しておくことを推奨します。 ...
ジルコニア式酸素濃度計の校正の概要
(an-zr-06-calibration-overview)
ジルコニア式酸素濃度計のセンサ(セル)起電力は、ネルンスト(Nernst)の式によっています。 センサ(セル)を700~750℃に加熱し、比較ガスに空気を用いたときの測定ガスの酸素濃度とセンサ(セル)起電力の関係は、下図のようになります。 しかし、これは理論上のことであり、実際のセンサ(セル)起電力は理論値からずれているのが普通です。 また、使用時間の経過とともにセンサが劣化し、起電力も変化してきます。そのため、校正用ガスを使った校正を行い、理論値とのずれを補正する必要があります。 測定...
ジルコニア式酸素濃度計の校正には、酸素濃度の明確なガスを使用します。 通常は、酸素濃度の低い「ゼロガス」と酸素濃度の高い「スパンガス」の2種類のガスを用いて行います(2点校正)。 また、どちらか一方のガスを用いて校正する1点校正もできますが、この場合でも初回またはセンサ交換後、必ず2種類のガスを用いた2点校正を行ってください。 通常、「ゼロガス」および「スパンガス」は、下記のガスを使用します。 ゼロガス :酸素濃度0.95~1.0vol% O2で、残りがチッソガス(N2) スパンガス:計...
ジルコニア式酸素濃度計の校正は、ゼロガスおよびスパンガスを用いた2点校正とスパンガスだけを用いて行う簡略的な1点校正があります。 (1)2点校正: 下図に、ゼロガスおよびスパンガスを用いた2点校正の場合を示します。 酸素濃度p1のスパンガスに対するセル起電力と酸素濃度p2のゼロガスに対するセル起電力を測定し、これらの2点間を通る検量線を求めます。 その後、この補正前検量線を、理論値に基づく理論検量線と一致するように補正します。 なお、図に示すA、B、Cから、 B/A×100 (%)...
ジルコニア式酸素濃度計の校正の動作モードには、次の3通りの方法があります。 手動校正: ゼロ校正およびスパン校正、またはそのどちらか一方を順次手動で行います。 半自動校正: タッチパネルからの操作、または接点入力信号によって校正をスタートさせ、 あらかじめ設定してある校正時間および安定時間に基づいて、一連の校正動作を行います。 自動校正: 設定した周期で自動的に校正を行います。 校正時間などの設定は、下記のように行います。 (1) 手動校正の場合 「出力安定時間」を設定します。 「出力...
炉内圧が高い場合、あるいは炉内圧力変動がある場合は、炉内と比較空気との圧力バランスがくずれ、酸素濃度を正確に測定することが困難になります。このような場合は、検出器の圧力補正機能を使用して、比較空気を炉内に戻すことにより、炉内と比較空気側との圧力バランスを保ち、信頼性の高い測定をすることができます。この機能を使用することで、炉内圧力250kPaまでの測定が可能になりました。 圧力補償方式 ...
ジルコニアセルを交換した場合は、必ず、「ゼロガス」および「スパンガス」を用いた2点校正を実施してください。 なお、校正は通常測定している状態(炉に取り付けている場合は、炉の運転状態)で行ってください。 ...
回収ボイラやセメントキルンなどのように、測定ガス中に多量のダストを含んでいる場合、プローブの目詰まりが短時間で生じます。これを防ぐためには、ダストの除去を空気圧で行うブローバックが有効です。 ジルコニア式酸素濃度計のブローバックの動作モードには、次の2通りの方法があります。 半自動ブローバック: タッチパネルからの操作、または接点入力信号によってブローバックをスタートさせ、その後、あらかじめ設定してあるブローバック時間および安定時間に基づいて、一連のブローバック動作を行います。 自動...
日常のメンテナンスに必要な下記の情報を表示できます。 これらの情報を基に、校正の周期を決めることやジルコニアセルの準備などをタイムリーに行うことができます。 (1)スパン点補正率およびゼロ点補正率 センサ(セル)の劣化度合いの目安となるデータです。 下図の補正可能範囲を超えたとき、そのセンサは使用不可能となります。 スパン点補正率およびゼロ点補正率は、各校正を行ったときのデータを基にして求めます。 スパン点補正およびゼロ点補正 (2)セル応答時間 校正時に、下図に示す要領で求めます...

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