ガス制御ソリューション

  • 「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。

  • 「Heat Beam」は、小さな空間で高効率に、瞬時に1,000℃まで加熱したガスを作り出す能力を持ち、ホットN2生成機としてとても有益です。

概要:

本パッケージは、LNG気化基地をオンラインシミュレータにミラーリングすることで、基地内のさまざまな状態量(流量、温度、圧力、熱量、組成など)の可視化と、数分から数時間先の将来挙動の予測を実現し、基地全体の操業における安全性、安定性の維持・向上に貢献します。

業種:

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