ガス制御ソリューション

「Piezocon®」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。

「Heat Beam」は、小さな空間で高効率に、瞬時に1,000℃まで加熱したガスを作り出す能力を持ち、ホットN₂生成機としてとても有益です。