横河電機株式会社 横河ソリューションサービス株式会社
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「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
「Heat Beam」は、小さな空間で高効率に、瞬時に1,000℃まで加熱したガスを作り出す能力を持ち、ホットN2生成機としてとても有益です。
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