経営課題の解決からオンライン通信(SECS/GEM/EDA I/F) 、EES(Equipment Engineering System)、IoT・AI・ビッグデータを駆使したデータ解析や予防保全(CBM)に至るまで、半導体装置メーカー様の課題を解決するトータルソリューションの提供を行っています。
半導体装置ソリューション
YOKOGAWAの強み
YOKOGAWA は 100年以上に渡って計測・制御・情報のドメインで産業界の最先端のマザーツールを提供して参りました。それにより培われた企業文化・経験・技術を最大限に活用して、半導体装置をマザーツールとして支える、情報システム・コントローラー・センサー群・計測器をワンストップで提供出来る総合力が我々の装置ソリューションの大きなアドバンテージです。
装置ソリューションの全体像
YOKOGAWAの装置オンラインソリューション
YOKOGAWA は長年に渡る半導体デバイスメーカー様とのビジネスや、SEMI / SEAJ といった業界団体での経験と実績を活かし、半導体装置メーカー様が持つ様々な課題を解決するノウハウとスキルをトータルオンラインソリューションとして提供しております。
関連製品
基幹システムソリューション
概要
装置メーカー様の経営課題を解決するソリューションのご提供が可能です。
装置開発・製造に関わる経営課題
- 経営資源の見える化と効率化
- 装置コスト削減
- 開発期間の短縮
- 装置生産管理の高度化と効率化
- 装置生産リードダイムの短縮
- 特注対応の迅速化
装置保守に関わる経営課題
- サービスの付加価値向上と「儲かる仕組み」の構築
- 保守対応の迅速化
- 保守工数の低減
- 保守履歴の共有化
製品一覧
半導体システム
概要:
SMARTDAC+ GX10/GX20を活用したクリーンルーム内での製造設備の監視・記録についてご紹介
オプションのカスタムディスプレイ機能とタッチ操作によるメッセージ入力
概要:
半導体工場では、各製造工程で種々の薬品が使用されます。それらの中に、現像液やフッ酸溶液があります。これらは、希釈装置において、原液を規定の濃度になるよう純水で薄めて調製されますが、このときの濃度管理は導電率を測定することによって行なわれます。
電磁導電率計は、耐食性があり広い測定範囲に適用できる検出器を有しており、多くのプロセスにおいて高精度での測定が可能な導電率計です。FLXA402/FLXA202 の採用により、高い信頼性で濃度管理が行なわれています。また、FLXA402/FLXA202 は、各製造工程の廃液処理や排水の管理にも採用されています。
