横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

半導体・FPD

半導体・FPDの製造ライン全体のCIMシステム、及び製造・検査装置の制御・管理・通信について、業務支援からソフトウェアパッケージのご提供、エンジニアリングまでトータルなソリューションをご提供いたします。
装置オンライン(SECS/GEM)からライン全体の管理システムまでをワンストップで提供することによって、製造ラインを効率化し、製品開発や生産ラインでお客様が抱えている課題を解決します。 また、ミニマルファブでは、半導体装置ビジネスで培った知見を生かし、お客様の装置の導入からファブ構築、運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供いたします。 横河ミニマルアプリケーションラボでの試作やトレーニングなどもご相談ください。

関連情報

アプリケーションノート
概要:

バスバーまたはバスダクトの温度を正確に把握することができれば、過熱の発生箇所を特定し、破損や焼損を未然に防ぐことができます。YOKOGAWAのDTSXは、強電界下でも電磁ノイズの影響を受けない 『光ファイバケーブル』 を使用しているため、温度分布を1メートル単位で素早く正確に測定できます。また、連続的なバスバーの温度監視によって、過熱が起こっている箇所すなわちボルトの増し締めなどの保守作業が必要な箇所を特定することができます。

動画

概要:

ミニマルファブが世界を変える。

横河ソリューションサービス株式会社は、一般社団法人ミニマルファブ推進機構の中核メンバーとして、ミニマルファブの普及に携わっています。お客様のミニマルファブ導入検討段階からファブ構築、運用、保守に至るまでの様々なソリューションを提供しています。

概要:

広大なプラントのオート監視における技術面、コスト面の課題をDTSX光ファイバ温度センサが解決します。

概要:

一人の女子高生がミニマルファブで革新を起こす。そんな時代がもうすぐそこまできています。

横河ソリューションサービス株式会社は、一般社団法人ミニマルファブ推進機構の中核メンバーとして、ミニマルファブの普及に携わっています。お客様のミニマルファブ導入検討段階からファブ構築、運用、保守に至るまでの様々なソリューションを提供しています。

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