半導体・FPDの製造ライン全体のCIMシステム、及び製造・検査装置の制御・管理・通信について、業務支援からソフトウェアパッケージのご提供、エンジニアリングまでトータルなソリューションをご提供いたします。
装置オンライン(SECS/GEM)からライン全体の管理システムまでをワンストップで提供することによって、製造ラインを効率化し、製品開発や生産ラインでお客様が抱えている課題を解決します。 また、ミニマルファブでは、半導体装置ビジネスで培った知見を生かし、お客様の装置の導入からファブ構築、運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供いたします。 横河ミニマルアプリケーションラボでの試作やトレーニングなどもご相談ください。
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半導体少量生産・半導体試作・半導体材料評価向けソリューション
IoT時代の到来で、求められる半導体は少量多品種、変種変量となっており、その生産に対応した装置の需要が増しています。それを実現するのがミニマルファブであり、当社はそのコンサルティングからアフターサービスまで、トータルなソリューションを提供しています。
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半導体装置メーカー向けソリューション
経営課題の解決からオンライン通信(SECS・GEM・EDA I/F) 、EES(Equipment Engineering System)、IoT・AI・ビッグデータを駆使したデータ解析や予防保全(CBM)に至るまで、半導体装置メーカー様の課題を解決するトータルソリューションの提供を行っています。
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デバイスメーカー向けソリューション
YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。
関連情報
半導体製造工場にある複数の生産設備のデータは、現在、現場作業員がチェックしていて、そのチェック作業は大変な状況にあります。そのため、工場内の集中監視をしたいという要望は強くなっています。
VZ20Xでは、既存の空間を活かした設置ができます。またGA10によってリモートから集中監視することで、現場の省人化に貢献します。
インバータ駆動モーターの性能評価試験は、ノイズの影響を受けやすいため、耐ノイズ性の高い機器が求められます。また測定点数が多い場合、その測定を満たす多チャネルな測定器は、コストの負担が大きくなります。
VZ20Xは、耐ノイズ性に優れており、インバータのようなノイズを発生しやすい測定対象でも、正確なデータ収集が可能なため安全にご利用いただけます。
給電用バスバーの健全性監視 (車載用リチウムイオン電池アプリケーション)
バスバーまたはバスダクトの温度を正確に把握することができれば、過熱の発生箇所を特定し、破損や焼損を未然に防ぐことができます。YOKOGAWAのDTSXは、強電界下でも電磁ノイズの影響を受けない 『光ファイバケーブル』 を使用しているため、温度分布を1メートル単位で素早く正確に測定できます。また、連続的なバスバーの温度監視によって、過熱が起こっている箇所すなわちボルトの増し締めなどの保守作業が必要な箇所を特定することができます。
動画
ミニマルファブが世界を変える。
横河ソリューションサービス株式会社は、一般社団法人ミニマルファブ推進機構の中核メンバーとして、ミニマルファブの普及に携わっています。お客様のミニマルファブ導入検討段階からファブ構築、運用、保守に至るまでの様々なソリューションを提供しています。
広大なプラントのオート監視における技術面、コスト面の課題をDTSX光ファイバ温度センサが解決します。
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