半導体・FPD

半導体・FPDの製造ライン全体のCIMシステム、及び製造・検査装置の制御・管理・通信について、業務支援からソフトウェアパッケージのご提供、エンジニアリングまでトータルなソリューションをご提供いたします。
装置オンライン(SECS/GEM)からライン全体の管理システムまでをワンストップで提供することによって、製造ラインを効率化し、製品開発や生産ラインでお客様が抱えている課題を解決します。 また、ミニマルファブでは、半導体装置ビジネスで培った知見を生かし、お客様の装置の導入からファブ構築、運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供いたします。 横河ミニマルアプリケーションラボでの試作やトレーニングなどもご相談ください。

ミニマルファブ サムネイル

ミニマルファブ

半導体産業は数千億円もの設備投資を必要とすることから、一部企業による寡占が進んできました。
IoT時代の到来で、求められる半導体は少量多品種、変種変量となっており、その生産に対応した装置の需要が増しています。それを実現するのがミニマルファブであり、当社はそのコンサルティングからアフターサービスまで、トータルなソリューションを提供しています。
まずは一度、横河ミニマルアプリケーションラボでミニマルファブをご覧ください。

半導体装置メーカー向けソリューション サムネイル

半導体装置メーカー向けソリューション

経営課題の解決からオンライン通信(SECS・GEM・EDA I/F) 、EES(Equipment Engineering System)、IoT・AI・ビッグデータを駆使したデータ解析や予防保全(CBM)に至るまで、半導体装置メーカー様の課題を解決するトータルソリューションの提供を行っています。

デバイスメーカー向けソリューション サムネイル

デバイスメーカー向けソリューション

YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。

アプリケーションノート
概要:

バスバーまたはバスダクトの温度を正確に把握することができれば、過熱の発生箇所を特定し、破損や焼損を未然に防ぐことができます。YOKOGAWAのDTSXは、強電界下でも電磁ノイズの影響を受けない 『光ファイバケーブル』 を使用しているため、温度分布を1メートル単位で素早く正確に測定できます。また、連続的なバスバーの温度監視によって、過熱が起こっている箇所すなわちボルトの増し締めなどの保守作業が必要な箇所を特定することができます。

製品概要

    概要:

    国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研)が主導する、次世代の半導体製造工場の実現を目指した国家プロジェクト「ミニマルファブ技術研究組合」に参画しています。ミニマルファブの、装置の製造を除いた、お客様の装置の購入から運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供しています。

    概要:

    広大なプラントのオート監視における技術面、コスト面の課題をDTSX光ファイバ温度センサが解決します。

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください


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