前工程サービス

サービス維持契約のご案内

高品質なサービス提供体制を維持するため、当社では「サービス維持契約」を導入しております。
この契約をご締結いただいたお客様にのみ、専用回線による電話対応も含めた下記サービスをご提供いたします。また、改造案件等への対応も行っておりますので、ご相談ください。

※サービス対象製品は「取扱製品」タブをご覧ください。
※サービス維持契約を締結されていないお客様向けのサービスは部品（パーツ）販売のみとなります。

サービス対象機種以外のサービス

当社のサービス対象機種以外につきましても、以下のようなソリューションをご用意しております。ぜひご相談ください。 

• Wafer表面温度感知シール（温度領域40～120℃）（308KB）
• Wafer表面温度感知シール（温度領域120～280℃）（332KB）
• 装置丸ごと移設のご紹介（554KB）
• 装置機器、装置部品何でも修理のご紹介（484KB）

電話（コール）対応

機種に応じたエンジニアを配置し、お客様からのお問い合わせに的確なご回答やご提案を行ないます。さらにお客様のご要望に応じてご訪問の日程調整や日程に合わせたエンジニアや部品（パーツ）の手配も行ないます。 

オーバーホール

お客様の装置が安定稼働し生産活動に集中していただけるように、装置のライフサイクル全般にわたり、保全・メンテナンスに関する提案型のオーバーホールなどを展開しています。

部品（パーツ）販売

お客様に可能な限り短納期で納品できるよう、取扱製品の部品を豊富にストックしております。
また、入庫時・出庫時ともクリーンルームにおいて現品確認を行い出庫するなど、品質維持・向上に努めています。

サービス維持契約のあるお客様

部品番号がわからない部品について

• 部品番号の特定をいたしますので、お問い合わせください。

生産中止部品について

• 可能な限り代替品の検討・ご提案をいたしますので、お問い合わせください。

サービス維持契約のないお客様

• 部品番号を特定のうえ、ご注文をお願いいたします。
• 生産中止品は除きます。

改善提案

当社がお勧めしている改善提案の資料です。
横型拡散炉やOZにつきましてはすでに生産中止後10年以上経過しています。老朽化による故障の確率が高くなっており、さらに使用している部品は生産中止品が多く、修繕が困難となっているものも多いため、ぜひご検討ください。

• 横型拡散炉（東京エレクトロン）
• OZ
• Piezocon（濃度計）
• 横型炉（国際電気）
• TEL-ETCH（東京エレクトロン）

※Piezoconの詳細についてはこちらのページもご覧ください。

※ Partner Portalのご契約者様専用サイト「半導体前工程サービス」のページは、2019年6月6日をもって終了しました。

引取修理

高度な技術とノウハウを持ったエンジニアと設備を完備し、また専門企業との良好な協力関係を築いています。
さらに緊急度に応じて代替品の発送も行なうなど、装置が安定稼働できる対応を行なっております。

なお引取修理依頼書のご依頼については、修理依頼書（PDF）に必要事項をご記入・FAXいただいた上で、
修理品をご送付下さい。

• 修理依頼書 （108KB）

リファービッシュ

お客様の生産設備増強のご要望にお応えして、当社の高度なノウハウを駆使し、新たに装置を購入される場合に比べて低コスト、短納期な最善の解決策をご提供します。また、お客様の視点に立った、以下のサービスを一貫して行なっています。

1. 対象装置の選定
2. インスペクション
3. 仕様調整
4. リファービッシュ
5. 納入・スタートアップ

特に、仕様調整においては、メーカー公認サービスを通してこれまで培ってきたサービス技術を駆使し、お客様のニーズにお応えします。

※リファービッシュは、サービス維持契約のあるお客様のみにご提供しております。

出張修理

お客様の装置に支障が生じた場合に、高度な技術とノウハウを持ったエンジニアが現地に出向き、迅速で正確な対応で設備の機能を回復させ、お客様の機会損失を最小限にとどめます。 

メーカー公認サービスのご案内

当社は、装置メーカー各社様から各種装置のサービス業務を受託し、装置メーカー様と同等の高品質なサービスを半導体メーカー様へご提供する「メーカー公認サービス」を行っており、装置メーカー様のブランド力の維持・向上につなげるとともに、その活動から数々のノウハウを蓄積してまいりました。また、移管を受けた装置メーカー様とは定期的な技術交流会を行なうなど、WIN-WINの関係を構築しております。

• Productive Collaboration　（英文・和文）（2,954KB）

サービス移管実績

当社には、豊富なサービス移管実績がございます。全ての装置メーカー様から大変好評をいただき、WIN-WINの関係を築いてこられたと自負しております。
今後も、多方面にこれら技術を活かしていきたいと考えております。過去の移管実績はこちらとなります。

：東京エレクトロン

TEL-ETCH	TEL-M	横型拡散炉	TE5000	TE8500

：Lam RESEARCH

  Rainbow エッチャー

：住友金属

　　　　
      OZエッチャー        　　　　Helios アッシャー     　　　 Sparkle CMP

：Revasum（旧STRASBAUGH）

     6DS-SP CMP

：M.SETEK

　　M.SETEK

装置延命化

レガシー装置のサポートにおける最大の問題である“延命化”に積極的に取り組んでおります。

• 制御系一括更新（新規開発）
• 各種リニューアルコントローラーの開発
• 修理技術の確立
• 中古部品のストック

移管後のサービス内容

移管後は、当社が責任を持ってサービスを行います。

• 電話（コール）対応
• 部品（パーツ）販売
• 引取修理
• 出張修理（オンコール対応）
• オーバーホール
• リファービッシュ