ガス濃度センサ／精密ガス混合システム Piezocon

「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
 『こんなにある！Piezocon (ピエゾコン) の導入効果！』『～原材料ガスの使用量が1/50に?!～ Piezocon精密ガス混合システムの導入効果！』はマンガ風のわかりやすいカタログとなっておりますので、ぜひご一読ください。

※当社は、米国Veeco社製 「Piezocon」と「Piezocon Precision Gas Mixing System」の日本国内における正規代理店です。

※Piezoconは、Veeco社の登録商標です。