ガス濃度センサ/精密ガス混合システム Piezocon

「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
※当社は、米国Veeco社製 「Piezocon」と「Piezocon Precision Gas Mixing System」の日本国内における正規代理店です。

「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
 『こんなにある!Piezocon (ピエゾコン) の導入効果!』『~原材料ガスの使用量が1/50に?!~ Piezocon精密ガス混合システムの導入効果!』はマンガ風のわかりやすいカタログとなっておりますので、ぜひご一読ください。

※当社は、米国Veeco社製 「Piezocon」と「Piezocon Precision Gas Mixing System」の日本国内における正規代理店です。


こんな悩みを抱えているお客様実は意外と多いんですよね・・・
ウェハ間の変動誤差がとても大きいんです・・・。
これはずばり!ガス濃度の不安定が原因です!
そこで・・・「一度使うとやめられない」と評判のPiezoconを導入してみたところ・・・
あんなに大きかったウェハ間の変動誤差がこんなに小さくなってる!!!
その結果・・・Piezocon導入による効果はほかにもこんなにたくさん!

※Piezoconは、Veeco社の登録商標です。

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください


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