「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
※当社は、米国Veeco社製 「Piezocon」と「Piezocon Precision Gas Mixing System」の日本国内における正規代理店です。
「Piezocon」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
『こんなにある!Piezocon (ピエゾコン) の導入効果!』『~原材料ガスの使用量が1/50に?!~ Piezocon精密ガス混合システムの導入効果!』はマンガ風のわかりやすいカタログとなっておりますので、ぜひご一読ください。
※当社は、米国Veeco社製 「Piezocon」と「Piezocon Precision Gas Mixing System」の日本国内における正規代理店です。
※Piezoconは、Veeco社の登録商標です。