シリンダー型ガス瞬間加熱装置 HeatBeam

「Heat Beam」は、小さな空間で高効率に、瞬時に1,000℃まで加熱したガスを作り出します。
ホットN2生成機として装置排気配管に希釈N2として流し込むと配管内の副生成物堆積防止に役立ちます。
その他、瞬間加熱や高速乾燥用途においても非常に有益です。

半導体使用例:ホットN2による配管内副生成物体積防止効果

ホットN2による配管内副生成物体積防止効果イメージ
ホットN2による配管内副生成物体積防止効果イメージ

特長

  1. 瞬間熱化能力 1秒で期待する温度に加熱
  2. 従来タイプの装置に比べ、大幅に小型・軽量
    ⇒省スペースに貢献
  3. 省電力
  4. 高エネルギー効率(利用率):約90%(200SLM時)
    ⇒省エネルギー、環境負荷低減
  5. 排熱量極小
    ⇒安全
  6. 電力熱源
    ⇒大型工事不要
  7. シリンダ内EP処理可能(オプション)
  8. 加熱温度設定範囲
    常温(入力ガス温度)~1000℃ ※1, 2

     ※1 設定温度および流量で設定
     ※2 700℃~1000℃使用時は特殊仕様となります

他分野用途例

軽量、小型なシリンダー型「Heat Beam」はいろいろな用途に応用が可能です。

他分野用途例

仕様

仕様イメージ

 

仕様 従来のホット
N2発生装置
(一例)
シリンダー型 “Heat Beam”
Sタイプ Aタイプ Bタイプ
シリンダ本体 330*150*140 133*60径 138*95径 217.5*85径
シリンダ重量 6kg 1.1kg 1.52kg 2.75kg
CTRサイズ 150*500*300 85*234*171
CTR重量 10kg 1.7kg
ヒーター ハロゲン 抵抗加熱
電力 2.2kW 370W 800W 1.5kW
配管径(In) 3/8 1/4(※3) 1/4(※3) 3/8(※3)
ガス種 N2 N2 , 希ガス
ガス圧力 0.2~0.5MPa 0.1~0.5MPa(※4)
ガス流量 ~150L/min ~100L/min ~200L/min ~300L/min
排出ガス(℃) 150 160@100SLM 320@100SLM 470@100SLM
熱伝導方式 コイル方式(一例) ”Heat Beam”方式
Energy効率 15~20% ~90%
排熱 >85% 3%~
熱源温度 高温度 加熱ガスと同じ
消費電力比 1 1/5

※3 サイズ変更可能(応相談)
※4 実力値ではありません

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください


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