「Heat Beam」は、小さな空間で高効率に、瞬時に1,000℃まで加熱したガスを作り出します。
ホットN2生成機として装置排気配管に希釈N2として流し込むと配管内の副生成物堆積防止に役立ちます。
その他、瞬間加熱や高速乾燥用途においても非常に有益です。
半導体使用例：ホットN2による配管内副生成物体積防止効果
詳細
特長
- 瞬間熱化能力 1秒で期待する温度に加熱
- 従来タイプの装置に比べ、大幅に小型・軽量
⇒省スペースに貢献 - 省電力
- 高エネルギー効率（利用率）：約90％（200SLM時）
⇒省エネルギー、環境負荷低減 - 排熱量極小
⇒安全 - 電力熱源
⇒大型工事不要 - シリンダ内EP処理可能（オプション）
- 加熱温度設定範囲
常温（入力ガス温度）～1000℃ ※1, 2
※1 設定温度および流量で設定
※2 700℃～1000℃使用時は特殊仕様となります
他分野用途例
軽量、小型なシリンダー型「Heat Beam」はいろいろな用途に応用が可能です。
仕様
| 仕様 | 従来のホット N2発生装置 （一例） |
シリンダー型 “Heat Beam” | ||
|---|---|---|---|---|
| Sタイプ | Aタイプ | Bタイプ | ||
| シリンダ本体 | 330*150*140 | 133*60径 | 138*95径 | 217.5*85径 |
| シリンダ重量 | 6kg | 1.1kg | 1.52kg | 2.75kg |
| CTRサイズ | 150*500*300 | 85*234*171 | ||
| CTR重量 | 10kg | 1.7kg | ||
| ヒーター | ハロゲン | 抵抗加熱 | ||
| 電力 | 2.2kW | 370W | 800W | 1.5kW |
| 配管径（In） | 3/8 | 1/4（※3） | 1/4（※3） | 3/8（※3） |
| ガス種 | N2 | N2 , 希ガス | ||
| ガス圧力 | 0.2～0.5MPa | 0.1～0.5MPa（※4） | ||
| ガス流量 | ～150L/min | ～100L/min | ～200L/min | ～300L/min |
| 排出ガス（℃） | 150 | 160@100SLM | 320@100SLM | 470@100SLM |
| 熱伝導方式 | コイル方式（一例） | ”Heat Beam”方式 |
|---|---|---|
| Energy効率 | 15～20% | ～90% |
| 排熱 | ＞85% | 3％～ |
| 熱源温度 | 高温度 | 加熱ガスと同じ |
| 消費電力比 | 1 | 1/5 |
※3 サイズ変更可能（応相談）
※4 実力値ではありません
ドキュメント＆ダウンロード
カタログ
- シリンダー型ガス瞬間加熱装置 Heat Beam (1.3 MB)
本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください
お問い合わせ