半導体製造過程において、不完全なクリーンルーム環境では不良の発生や資源の浪費を招くことになるため厳密に管理されたクリーンルームが必要不可欠になります。クリーンルーム環境管理には、エアフィルタ、HVACシステム、室内温度、湿度、気圧、空気成分の管理などが必要です。
データアクイジションシステム SMARTDAC+ GM は遠隔監視用途としても様々な機能が充実しており、データの監視はブラウザソフトにURLを入力すれば即座にWeb監視可能です。
また、データファイルも遠隔で取得が可能な上、E-Mail機能を使えば、異常通報も行えます。
業種
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半導体装置メーカー向けソリューション
経営課題の解決からオンライン通信(SECS・GEM・EDA I/F) 、EES(Equipment Engineering System)、IoT・AI・ビッグデータを駆使したデータ解析や予防保全(CBM)に至るまで、半導体装置メーカー様の課題を解決するトータルソリューションの提供を行っています。
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データアクイジション システム GM
SMARTDAC+ データアクイジションシステム GM は、簡単に必要なモジュールを自由に組み合わせられるYOKOGAWA独自のブロック構造を採用した、汎用性と拡張性に優れたデータロガーです。設置後もすべてのモジュールが独立して着脱できるため、メンテナンス性にも優れています。