クリーンルーム施設の温度データ監視

半導体製造過程において、不完全なクリーンルーム環境では不良の発生や資源の浪費を招くことになるため厳密に管理されたクリーンルームが必要不可欠になります。クリーンルーム環境管理には、エアフィルタ、HVACシステム、室内温度、湿度、気圧、空気成分の管理などが必要です。
データアクイジションユニットMW100は遠隔監視用途としても様々な機能が充実しており、データの監視はブラウザソフトにURLを入力すれば即座にWeb監視可能です。
また、データファイルも遠隔で取得が可能な上、E-Mail機能を使えば、異常通報も行えます。

クリーンルーム施設の温度データ監視

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Webブラウザの特性を活用することで、複数箇所での情報共有を実現し、施設管理/設備監視に最適な広域分散型の遠隔監視/データ収集システムを構築できます。

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