EES EDA I/F ソリューション : e-fabDoctor
概要
e-fabDoctor シリーズは、業界標準仕様の最新 SEMI スタンダードに準拠した装置データ/プロセスデータの収集と解析のための EES (Equipment Engineering System) プラットフォームです。
お客様の装置を診断して、異常の早期発見・稼働率改善・保全費用の削減を実現します。
10年以上に渡り、多くの実績を積み重ねてきた、大変信頼性が高く将来も安心なパッケージです。
特徴
- SEMIスタンダードの学習期間や仕様検討期間が短縮でき、工数削減が可能です。
- 100% 横河内製のため、お客様の要求に迅速に対応できます。
- 容易なプログラミングインターフェース、PLCインターフェース（ノンプログラミング実装）を提供します。
- 豊富な導入実績により、どのような装置構成でも柔軟に対応可能です。
各製品の位置付け
製品ラインナップ・資料
| 製品 | 説明 | カタログ |
|---|---|---|
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e-fabDoctor Passport |
SEMI が提唱する業界標準仕様の EDA I/F (Interface A) を実現する製品です。 |
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e-fabDoctor FDC |
EDA I/F からの装置データを入力とし、リアルタイムで不良解析を実行する製品です。 |
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e-fabDoctor EEManager |
e-fabDoctor Passport 等 EDA I/F から送信される装置データをリアルタイムデータベースにロギングする製品です。 |
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e-fabDoctor Finder |
e-fabDoctor EEManager や e-fabDoctor FDCに接続し、リアルタイムでの装置データの閲覧が可能です。過去のトレンド表示やデータの簡易解析も可能です。(e-fabDoctor EEManager や e-fabDoctor FDCに同梱されます) |
動作環境 (e-fabDoctort Passport / Finder)
- ハードウェア
- CPU : Intel Core i3 2GHz 以上
- メモリー : 8GB 以上
- HDD : 256GB 以上
- OS
- Windows 10
※ e-fabDoctor シリーズの現在対応しておりますWindows10 のエディションは担当営業までお問い合わせください。
動作環境 (e-fabDoctort EEManager / FDC)
- ハードウェア
- CPU : Intel Core i3 2GHz 以上
- メモリー : 8GB 以上
- HDD : 256GB 以上
- OS
- Windows Server 2016 , Windows Server 2019
※ e-fabDoctor シリーズの現在対応しておりますWindowsServerのエディションは担当営業までお問い合わせください。
その他サービス
- EDA I/F トレーニング
EDA I/F の仕様を分かりやすく、かつ迅速に理解が出来る独自のトレーニングプログラムがございます。お客様先に出向いての開催も可能です。
- データ解析コンサルティング
豊富な実績とノウハウを活かしてお客様の装置のプロセスデータの解析と、予兆/予防保全や装置品質改善に向けたご提案を行うことが可能です。
- カスタマイズアプリケーションの開発
e-fabDoctor を使用したカスタマイズアプリケーションの開発も可能です。
SEMI規格対応表
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SEMI 規格 |
Description |
e-fabDoctor |
|---|---|---|
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SEMI E120 |
Common Equipment Model (CEM) |
〇 |
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SEMI E121 |
XML Style Guide |
〇 |
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SEMI E125 |
Equipment Self Description (EqSD) |
〇 |
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SEMI E128 |
XML Message Structures |
〇 |
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SEMI E132 |
Equipment Client Authentication and Authorization |
〇 |
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SEMI E134 |
Data Collection Management |
〇 |
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SEMI E138 |
Common Components Standard |
〇 |
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SEMI E148 |
Time Synchronization and Definition |
〇 |
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SEMI E164 |
EDA Common Metadata |
〇 |
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