測定原理により、様々な特徴があります。最も一般的なものは半導体ピエゾ抵抗式のセンサです。小形で高感度、高耐圧、なおかつ再現性が優れているのが特徴ですが、汚染には弱く直接接液することができないため、隔壁ダイアフラム構造と封入液が必要となります。
静電容量式は以前主流の原理であり、シンプルな構造でコストパフォーマンスに優れています。また、低圧に対する感度が高い一方、高圧に対する過大圧保護構造も容易で、微差圧センサなどに適しています。
シリコンレゾナント方式は、もっとも再現性に優れ、長期的な安定性にも優れたセンサ構造で高精度高信頼が必要な用途に適しています。高精度デジタルマノメータや工業プラント用差圧伝送器など幅広く採用されております。
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