半導体プロセスにおける現像液・フッ酸溶液の調製-電磁導電率計で濃度を管理

概要

半導体工場では、各製造工程で種々の薬品が使用されます。それらの中に、現像液やフッ酸溶液があります。これらは、希釈装置において、原液を規定の濃度になるよう純水で薄めて調製されますが、このときの濃度管理は導電率を測定することによって行なわれます。
電磁導電率計は、耐食性があり広い測定範囲に適用できる検出器を有しており、多くのプロセスにおいて高精度での測定が可能な導電率計です。FLXA21/ISC450G の採用により、高い信頼性で濃度管理が行なわれています。また、FLXA21/ISC450G は、各製造工程の廃液処理や排水の管理にも採用されています。

 

お客様の期待

  • フッ酸溶液の濃度管理を手軽に行いたい
  • ランニングコストを削減したい
  • 耐食性のある接液部にしたい
  • 設備更新のイニシャルコストはミニマムに抑えたい

 

プロセス概略

半導体工場では、従来、使用する各種薬品はあらかじめ使用濃度に希釈されたものを購入していました。しかし、半導体市場での価格競争激化で製造コストの大幅削減が必要となり、今日では、希釈薬品と価格に大差の無い薬品原液を購入して、自社で必要濃度に希釈し使用することが一般的になりました。

【フッ酸希釈装置】
ウェハ洗浄やエッチングで使用するフッ酸溶液の濃度は、通常2.5~5%です。購入した49%フッ酸原液に超純水を加え、所定のフッ酸濃度に調製します。

【現像液希釈装置】
現像液は、2~3%濃度のものが使用されます。この現像液は、15~20%濃度の原液を超純水で希釈して調製されます。

フッ酸希釈装置の概略

 

YOKOGAWA のソリューション

測定システム

2 線式電磁導電率計システム

  • 検出器
    ISC40GJ-GG-T1-X □ /Z  Z: テフロン包み
  • ホルダ
    <流通形の場合>ISC40FFJ-PJ/Z
  • 伝送器
    FLXA21-D-P-S-AA-C5-NN-A-N-LA-J
  • ディストリビュータ
    PH201G-A1*B

4 線式電磁導電率計システム

  • 検出器
    ISC40GJ-GG-T1-Y □ /Z  Z:テフロン包み
  • ホルダ
    <流通形の場合>ISC40FFJ-PJ/Z
  • 変換器
    ISC450G-A-J

ユーティリティ

  • FLXA21 2 線式液分析計
    電源電圧:17 ~ 40 V DC(ディストリビュータから)
    消費電力:最大 0.9 VA
  • PH201G ディストリビュータ
    電源:100 V AC,47 ~ 63Hz
  • ISC450G 変換器
    電源:90 ~ 264V AC,50/60Hz
    消費電力:最大 15 VA

留意点

  • PH201G の接点出力は常時励磁で、電源オフ時、または保守時に「閉」となります。

 

フィールドデータ

測定例

フッ酸の直線性

フッ酸の直線性

現像液の導電率と濃度の関係

現像液の導電率と濃度の関係

 

業種

関連製品&ソリューション

2線式電磁導電率計 FLXA202

モジュール構造による豊富なシステムの構築、拡張性を備えた新世代の液分析計です。堅牢なアルミダイキャストケース採用しています。TIIS、ATEXなど各種防爆に対応しています。

2線式電磁導電率計 FLXA21

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4線式電磁導電率計 ISC450G

ISC450Gは、EXAシリーズの優れた機能を継承し、操作性とアプリケーションにおける汎用性を向上させました。高精度でありながら見やすい大画面・対話型タッチスクリーンを実現。電磁誘導測定の原理に基づく非接触測定のため、幅広いアプリケーションの導電率測定に適しています。

電磁導電率検出器 ISC40GJ , ISC40SJ

汚れ・磨耗・腐食の対策が必要なアプリケーションでも高精度で導電率を測定します。
測定可能範囲:1 μS/cm~1999 mS/cm
プロセス温度:-10~130°C

導電率検出器

2電極式、4 電極式、各種アプリケーション対応の検出器を用意しています。

導電率計

上水・下水などの水質測定から各種プロセス液の導電率測定および抵抗率の測定も可能です。サニタリ形やハンディタイプもラインアップしています。

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