Wafer Sleuth

 各種システムとの連携

• ウェハレベルのトラッキング情報を管理し、ウェハの経歴を明らかにします。
• 歩留データをはじめ、各種データとウェハポジションの相関を検出することができます。

 解析アルゴリズム

• ウェハポジションと歩留の相関を各種アルゴリズムに当てはめ、もっとも相関の高い結果を表示
  
• リニアな相関はもちろん、周期性やクラス分けによる相関を検出
  
• 表示順やグラフィカルなGUI設定により、直感的に問題工程を把握
  
• 解析結果をメールで送信可能、関係者の情報共有がスムーズ

• 自動レポート機能：夜間バッチによる自動解析、メールによる日報送信
• マルチロット解析：複数ロットをまたいだ傾向分析
• SSAウェハマップ解析：不良クラスタとウェハポジションの相関分析
  　(原因プロセス、装置、チャンバの発見)
• 相関データベース解析：各種解析結果をDB化し、さらに詳細な解析をサポート
• FDC管理基準解析：EEデータと歩留の相関を解析し、要管理パラメータの抽出と各管理基準値を解析
• 共通性解析：任意のサンプルデータとの比較による共通性解析

• 多品種少量生産から量産に柔軟に対応
• 品質規格外れロットの早期検出

Wafer Sleuthは、米Sleuthworks社の商標または登録商標です。