横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

フッ酸を含む廃水のpH測定-PH4FTで電極寿命の長期化

概要

半導体や光ファイバーケーブル等の製造工場をはじめとしてステンレス鋼二次加工工場やフッ酸製造工場(排ガス洗浄施設)など、フッ酸を含む廃水の処理施設は数多く存在します。これらの廃液処理施設における pH 測定には、フッ酸に侵されるため短寿命のガラス電極に代わってアンチモン電極が用いられています。しかし、アンチモン電極は安定性に問題があり、耐フッ酸性のあるガラス電極が待たれていました。
PH4FT 耐フッ酸 pH 検出器は、フッ酸の含まれる溶液での長寿命化を図った検出器です。当社製の一般検出器や他社のフッ酸用検出器に比べ、際立った耐フッ酸性(長寿命・長期安定性)を示します。PH4FTの採用で、良好な測定を維持するための保守工数が大幅に削減でき、寿命の点でも満足できる結果が得られています。

 

お客様の期待

  • フッ酸を含む廃液の pHを連続で長期間測定したい
  • ランニングコストを削減したい
  • 設備更新のイニシャルコストはミニマムに抑えたい

 

プロセス概略

半導体工場のフッ酸廃液には、濃廃液(間欠的に排出)と希薄廃液(常時排出)とがあります。廃液処理に当たっては、一旦、濃廃液と希薄廃液をそれぞれ貯槽に貯えます。
貯槽の濃廃液と希薄廃液は、それぞれ一定量が原廃水貯槽に送られます。ここで、均一に混合するためのエアバブリング攪拌を行なってから反応槽に送ります。反応槽では、消石灰を注入して十分に反応させ、CaF2 を生成させます。次の凝集槽では凝集剤を入れてフロック化し、沈殿池で懸濁物を沈殿除去します。処理水(pH 値:9 以上)は中和槽に送り、塩酸を加えて pH6 ~ pH8 に中和したうえで放流します。

プロセス概略図

 

YOKOGAWA のソリューション

測定システム

  • pH 検出器
    • 耐フッ酸 pH 検出器
      PH4FT-120-□□G(FLXA402の場合)
      PH4FT-120-□□E、または-□□F(FLXA202/FLXA21の場合)
  • 検出器用アダプタ
    • 付加仕様:/S3(ステンレス鋼)、/PP(ポリプロピレン)から選択
  • ホルダ
    • 潜漬形ホルダ PH8HS-PP- □□ -T-NN-NN * A
  • 中継端子箱(必要に応じて使用)
    • WTB10-PH1、WTB10-PH5(FLXA202/FLXA21の場合)
    • WTB10-PH3(FLXA402 の場合)
  • pH 変換器 /pH 伝送器
    • 4 線式 pH/ORP 変換器(4 線式 pH 計システム構築の場合)
      FLXA402-A-B-AJ-P1-NN-A2-WR-□-□-J-NN
    • 2 線式 pH 伝送器(2 線式 pH 計システム構築の場合)
      FLXA202、またはFLXA21
      FLXA202-D-BーD-AB-P1-NN-A-N-LA-J-NN
      FLXA21-D-P-S-AA-P1-NN-A-N-LA-J
  • ディストリビュータ(2 線式 pH 計システムの場合)
    • 分析計専用ディストリビュータ PH201G-A □* B

ユーティリティ

  • 電源
    • 4 線式 pH/ORP 変換器:(FLXA402 電源)
      90 ~ 264 V AC,50/60 Hz
      消費電力:約 35 VA
    • 2 線式システムの場合:(FLXA202/FLXA21 電源)
      16 ~ 40 V DC(負荷抵抗により異なります。)

留意点

  • PH4FT耐フッ酸検出器を使用する場合、超音波洗浄および
    ブラシ洗浄を行なうことはできません。(ジェット洗浄は可能です。)
  • PH4FTのケーブル接続部は、防水構造でありません。
    設置に際しては、雨水などが接続部内部に侵入することがないよう、配慮してください。

システム構成例 2線式pH系システム(非防爆システム)図

 

業種

  • 電機・電子

    近年、自動車の自動運転化技術が急速に進み、電子部品が数多く車に搭載されています。また医療機器の高性能化も同様の動きとなっております。この為、電機電子部品業界では、製造過程のトレーサビリティや部品の製造履歴を1品1品の単位で管理し、不良ゼロに向けた工場づくりを進めております。当社は、その際に出くわす現場の課題を的確に捉え、設備の予兆管理や品質不良ゼロに向けたスマートファクトリーの実現をお手伝いいたします。

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