半導体業種向け歩留改善支援システム
Wafer Sleuth
FAQ
Wafer Sleuthに関して、よくある質問と回答です。
よくある質問
効果・メリット
Q1. 歩留に悪影響を与える装置やチャンバを特定したいのですが？
Q2. Non Product Wafer を削減したいのですが？
導入
Q1. 導入コストが高いのでは？
運用・保守
Q1. 初期導入支援はしてもらえますか？
よくある質問 & 回答
効果・メリット
Q1. 歩留に悪影響を与える装置やチャンバを特定したいのですが？
A1: クリティカルな工程の前後で ウェハ位置 (スロット位置、処理順等) を意図的にランダマイズ し、歩留と処理順の間に相関のある装置やチャンバを特定します。
Q2. Non Product Wafer を削減したいのですが？
A1: 解析のためのNPWを必要とせず、日常生産の中から問題点を見つけ出すことからNPWの削減に貢献します。
導入
Q1. 導入コストが高いのでは？
A1: 検査工程、装置モニタの追加に比べ低コストで導入できます。
運用・保守
Q1. 初期導入支援はしてもらえますか？
A1: 弊社の基本作業には含まれておりませんが、別料金にて導入支援エンジニアリングを承ります。お気軽に営業までお問合せください。
Q2. クリティカルな工程での少数抜取りでは不十分では？
A2: 全ての装置、ウエハを対象として傾向を把握します。
