半導体業種向け歩留改善支援システム
Wafer Sleuth
導入効果
- 簡単・スピーディーな解析により、解析作業の効率アップ
- 歩留に悪影響を与えるプロセス、装置、チャンバを特定
- ランダマイズにより、これまで隠れていた問題点を顕在化
- 日常的な生産ウェハを母集団とした解析により、NPWを削減
- 検査工程、装置モニタの追加に比べ低コストで容易に導入
- より詳細な解析のための様々なオプションをご用意
| 他の解析手法では… |  |
Wafer Sleuthによる効果 |
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全ての装置、ウエハを対象として傾向を把握します。 大局的な拠点から歩留に影響を与える装置、工程を絞り込みます。 解析のためのNPWを必要とせず、日常生産の中から問題点を見つけ出します。 また、NPWの削減に貢献します 検査工程、装置モニタの追加に比べ低コストで導入できます。
従来の方式では発見できなかった問題点を顕在化します。 |
Wafer Sleuthは、米Sleuthworks社の商標または登録商標です。
- NPWの削減に貢献
Wafer Sleuthは、米Sleuthworks社の商標または登録商標です。
