半導体装置オンライン化ソフト

EQBrain™ V4 (200mm GEM対応)

概要

200mm/GEM対応

300mm/GEM300対応

その他/
SECSオンライン対応

インタリーブ機能対応: 装置からの１次メッセージ送信がマルチオープントランザクション対応となりました。２次メッセージを待たずに次の１次メッセージ送信が可能となります。
Windows7 での動作が可能になりました。
リモートコマンドのパラメータの可変に対応しました。
端末メッセージ機能の TID 値が任意に設定可能となりました。
ホストから S2F15 を受信した際に、装置AP側で ECV の更新の判断を行う機能を追加しました。
T6, T8 タイムアウト発生、不正デバイスID 受信時等にユーザAP にコールバック通知する機能を追加しました。

EQBrainは、半導体製造装置をオンライン対応にするためのソフトウェアパッケージです。貴社の半導体製造装置を容易に、そして安価にSEMI標準のGEM準拠の装置へとアップグレードします。

特徴

EQBrain-V4の特徴

SEMIスタンダードを熟知しなくても実現が容易
GEM機能のフルサポート
SECSメッセージフォーマット自動作成
SECS-I/HSMS通信
Windowsプラットフォーム上にアプリケーションインタフェース (VB.NET, C#, VC++.NET) を標準サポート
・API、コールバック等を通じてPC上での制御が容易に
・GEM規格外のメッセージも容易に生成可能
装置(PLC)インタフェース(FA-M3, MESLEC, SYSMAC)を標準サポート
・PLCメモリ上にEQBrainが使用するアドレスを指定することでプログラミングレスで簡単に実現可能

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機能

SECS/HSMS通信
SECS-IIメッセージコントロール
GEM機能 (フルGEM）)
FA-M3通信 (RS232C/Ethernet)
MELSEC通信 (RS232C/Ethernet)
SYSMAC通信 (RS232C/Ethernet）
ユーザーアプリケーションインターフェース
GEMシナリオ自動作成
SECSメッセージフォーマット自動作成
装置初期データ設定
GEMドキュメンテーション

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対応ストリームファンクション

S/F	Stream, Function Name	Wbit	Direction	GEM	NonGEM	Note
S1,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S1,F1	Are You There Request	W	H ↔ E	○
S1,F2	On Line Data		H ↔ E	○
S1,F3	Selected Equipment Status Request	W	H → E	○	○
S1,F4	Selected Equipment Status Data		H ← E	○	○
S1,F11	Status Variable Namelist Request	W	H → E	○	○
S1,F12	Status Variable Namelist Reply		H ← E	○	○
S1,F13	Establish Communications Request	W	H ↔ E	○
S1,F14	Establish Communications Request Acknowledge		H ↔ E	○
S1,F15	Request OFF-LINE	W	H → E	○
S1,F16	OFF-LINE Acknowledge		H ← E	○
S1,F17	Request ON-LINE	W	H → E	○
S1,F18	ON-LINE Acknowledge		H ← E	○
S2,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S2,F13	Equipment Constant Request	W	H → E	○	○
S2,F14	Equipment Constant Data		H ← E	○	○
S2,F15	New Equipment Constant Send	W	H → E	○	○
S2,F16	New Equipment Constant Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F17	Date and Time Request	W	H ↔ E	○	○
S2,F18	Date and Time Data		H ↔ E	○	○
S2,F23	Trace Initialize Send	W	H → E	○	○
S2,F24	Trace Initialize Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F25	Loopback Diagnostic Request	W	H → E	○	○
S2,F26	Loopback Diagnostic Data		H ← E	○	○
S2,F29	Equipment Constant Namelist Request	W	H → E	○	○
S2,F30	Equipment Constant Namelist		H ← E	○	○
S2,F31	Date and Time Set Request	W	H → E	○	○
S2,F32	Date and Time Set Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F33	Define Report	W	H → E	○	○
S2,F34	Define Report Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F35	Link Event Report	W	H ← E	○	○
S2,F36	Link Event Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F37	Enable/Disable Event Report	W	H → E	○	○
S2,F38	Enable/Disable Event Report Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F39	Multi-block Inquire	W	H → E	○	○
S2,F40	Multi-block Grant		H ← E	○	○
S2,F41	Host Command Send	W	H → E	○	○
S2,F42	Host Command Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F43	Reset Spooling Streams and Functions	W	H → E	○	○
S2,F44	Reset Spooling Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F45	Define Variable Limit Attributes	W	H → E	○	○
S2,F46	Define Variable Limit Attributes Acknowledge		H ← E	○	○
S2,F47	Variable Limit Attributes Request	W	H → E	○	○
S2,F48	Variable Limit Attributes Send		H ← E	○	○
S2,F49	Enhanced Remote Command	W	H → E	○	○
S2,F50	Enhanced Remote Command Acknowledge		H ← E	○	○
S5,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S5,F1	Alarm Report Send	(W)	H ← E	○	○	※2
S5,F2	Alarm Report Acknowledge		H → E	○	○
S5,F3	Enable/Disable Alarm Send	W	H → E	○	○
S5,F4	Enable/Disable Alarm Acknowledge		H ← E	○	○
S5,F5	List Alarms Request	W	H → E	○	○
S5,F6	List Alarm Data		H ← E	○	○
S6,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S6,F1	Trace Data Send	(W)	H ← E	○	○	※2
S6,F2	Trace Data Acknowledge		H → E	○	○
S6,F5	Multi-block Data Send Inquire	(W)	H ← E	○	○	※2
S6,F6	Multi-block Grant		H → E	○	○
S6,F11	Event Report Send	(W)	H ← E	○	○	※2
S6,F12	Event Report Acknowledge		H → E	○	○
S6,F15	Event Report Request	W	H → E	○	○
S6,F16	Event Report Data		H ← E	○	○
S6,F19	Individual Report Request	W	H → E	○	○
S6,F20	Individual Report Data		H ← E	○	○
S6,F23	Request Spooled Data	W	H → E	○	○
S6,F24	Request Spooled Data Acknowledgement Send		H ← E	○	○
S7,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S7,F1	Process Program Load Inquire	W	H ↔ E	○	○
S7,F2	Process Program Load Grant		H ↔ E	○	○
S7,F3	Process Program Send	W	H ↔ E	○	○
S7,F4	Process Program Acknowledge		H ↔ E	○	○
S7,F5	Process Program Request	W	H ↔ E	○	○
S7,F6	Process Program Data		H ↔ E	○	○
S7,F17	Delete Process Program Send	W	H → E	○	○
S7,F18	Delete Process Program Acknowledge		H ← E	○	○
S7,F19	Current EPPD Request	W	H → E	○	○
S7,F20	Current EPPD Data		H ← E	○	○
S7,F23	Formatted Process Program Send	W	H ↔ E		○	※1
S7,F24	Formatted Process Program Acknowledge		H ↔ E		○	※1
S7,F25	Formatted Process Program Request	W	H ↔ E		○	※1
S7,F26	Formatted Process Program Data		H ↔ E		○	※1
S7,F27	Process Program Verification Send	W	H ← E		○	※1
S7,F28	Process Program Verification Acknowledge		H → E		○	※1
S7,F29	Process Program Verification Inquire	W	H ← E		○	※1
S7,F30	Process Program Verification Grant		H → E		○	※1
S9,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S9,F1	Unrecognized Device ID		H ← E	○
S9,F3	Unrecognized Stream Type		H ← E	○
S9,F5	Unrecognized Function Type		Hl ← E	○
S9,F7	Illegal Data		H ← E	○	○
S9,F9	Transaction Timer Timeout		H ← E	○
S9,F11	Data Too Long		H ← E	○	○
S9,F13	Conversation Timeout		H ← E	○
S10,F0	Abort Transaction		H ↔ E	○
S10,F1	Terminal Request	W	H ← E	○	○
S10,F2	Terminal Request Acknowledge		H → E	○	○
S10,F3	Terminal Display, Single	W	H → E	○	○
S10,F4	Terminal Display, Single Acknowledge		H ← E	○	○
S10,F5	Terminal Display, Multi-block	W	H → E	○	○
S10,F6	Terminal Display, Multi-block Acknowledge		H ← E	○	○
S10,F7	Multi-block Not Allowed		H ← E	○	○

GEM・・・メッセージの自動生成、送受信可能
NonGEM・・・GEM規格外メッセージを独自に作成可能
※1 Formatに合わせたメッセージをNonGEM機能を使用することで送受信可能
※2 Wbitあり/なし、いずれかが選択可能

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BrainSETTERV4 (コンフィギュレーション生成ツール)

BrainSETTERV4は、EQBrainV4のコンフィギュレーションを生成するツールです。 BrainSETTERから設定情報を入力することで、HOST側より要求される通信プロトコルや情報、装置が持つ情報を簡単に設定することができます。

【機能】

データ定義／設定
各種パラメータ
データフォーマット
アドレス設定
各種データ設定等
データコンバート
GEMドキュメンテーション

動作環境

	ハードウェア	推奨
CPU	Celeron 300MHz以上	Pentium4 2.4GHz以上 * Vista以降OS時、 Intel Core2 Duo 2.13GHｚ以上
メモリ	256MB以上	1GByte以上 * Vista以降OS時、2GByte以上
HDD	2.0GB以上	30GB以上
インターフェース	Ethernetカード (HSMSの場合) RS232Cポート(SECS-Iの場合)
ソフトウェア	Windows XP Professional SP3 Windows Vista Business SP1 Windows 7 Professional