半導体装置オンライン化ソフト

EQBrain™ 300 (300mm/GEM対応)

概要

200mm/GEM対応

300mm/GEM300対応

その他/
SECSオンライン対応

Windows7 での動作が可能になりました。
最新版 SEMIスタンダードのプロセスジョブモデル、及びコントロールジョブモデルに対応しました。
Material Redirection Mode の対応の有無が選択可能となりました。
内部バッファのキャリアロケーションの仕様の追加: 同じパーティション内の内部バッファを示す
LocationIDi (SV) には全て同じ値が格納されていましたが、バッファ毎に ID を指定することも可能となりました。
C# (.NET インタフェース) のサンプルコードも新たに用意しました。

EQBrain300 は、300mm半導体製造装置をオンライン対応するためのソフトウェアパッケージです。貴社の半導体製造装置を容易に、そして安価にSEMI標準のスタンダードへとアップグレード致します。複雑なSEMIの300mm向けスタンダードの実装にかかるコストを大幅に削減することが可能です。複雑なSEMIの300mm向けスタンダードの実装にかかるコストを大幅に削減することが可能です。既に数多くの装置メーカ様に導入頂き実績を誇っております。

特徴

EQBrain300の特徴

オンラインリモートでホストがコントロールするモードはもちろんオンラインローカルやオフライン時も充分対応可能なパッケージです。 300mm対応装置だけでなく、GEM準拠装置や,従来のSECS-IIベースの装置も統一されたプラットホームで対応できます。

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機能

以下のようなスタンダード機能をサポートしております。
特殊な環境は必要ありません。

全GEM機能をサポート
(動的イベントレポート設定、リモートコマンド (各種チェック機能)、時刻設定管理、レシピアップロード・ダウンロード、アラーム管理、端末サービスメッセージ、装置定数/状態データ／変数データの管理、トレース／リミットモニタリング／スプール管理など）
ホストからのプロセスジョブ、コントロールジョブの作成
プロセスジョブ、コントロールジョブの制御及び状態管理
キャリア、サブストレート (ウェハー) の状態、位置管理
キャリア、スロットマップの照合管理
ロードポート状態の管理
各種装置インターフェース

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対応ストリームファンクション

S/F	Stream,Function Name	Wbit	Direction	Note
S3,F17	Carrier Action Request	W	H → E	Bind CancelBind CancelCarrier CancelCarrierAtPort CancelCarrierNotification CancelCarrierOut CarrierIn CarrierNotification CarrierOut CarrierReCreate CarrierRelease ProceedWithCarrier
S3,F18	Carrier Action Acknowledge		H ← E
S3,F19	Cancel All Carrier Out Request	W	H → E	CancelAllCarrierOut
S3,F20	Cancel All Carrier Out Acknowledge		H ← E
S3,F23	Port Group Action Request	W	H → E	ChangeAccess(Old)
S3,F24	Port Group Action Acknowledge		H ← E
S3,F25	Port Action Request	W	H → E	CancelReservationAtPort ChangeServiceStatus ReserveAtPort
S3,F26	Port Action Acknowledge		H ← E
S3,F27	Change Access	W	H → E	ChangeAccess
S3,F28	Change Access Acknowledge		H ← E
S3,F29	Carrier Tag Read Request	W	H → E	CarrierTagReadData
S3,F30	Carrier Tag Read Data		H ← E
S3,F31	Carrier Tag Write Data Request	W	H → E	CarrierTagWriteData
S3,F32	Carrier Tag Write Data Acknowledge		H ← E
S6,F11	Event Report Send	W	H ← E
S6,F12	Event Report Acknowledge		H → E
S14,F1	GetAttr Request	W	H → E	GetAttr
S14,F2	GetAttr Data		H ← E
S14,F3	SetAttr Request	W	H → E	SetAttr
S14,F4	SetAttr Data		H ← E
S14,F5	GetType Request	W	H → E	GetType
S14,F6	GetType Data		H ← E
S14,F7	GetAttrName Request	W	H → E	GetAttrName
S14,F8	GetAttrName Data		H ← E
S14,F9	Create Object Request	W	H ↔ E	Create Object
S14,F10	Create Object Acknowledge		H ↔ E
S14,F11	Delete Object Request	W	H ↔ E	Delete Object
S14,F12	Delete Object Acknowledge		H ↔ E
S16,F5	Process Job Command Request	W	H → E	PRJobCommand ・ABORT ・STOP ・CANCEL ・PAUSE ・RESUME ・STARTPROCESS
S16,F6	Process Job Command Acknowledge		H ← E
S16,F11	PRJobCreateEnh	W	H → E	PRJobCreateEnh
S16,F12	PRJobCreateEnh Acknowledge		H ← E
S16,F15	PRJobMultiCreate	W	H → E	PRJobMultiCreate
S16,F16	PRJobMultiCreate Acknowledge		H ← E
S16,F17	PRJobDequeue	W	H → E	PRJobDequeue
S16,F18	PRJobDequeue Acknowledge		H ← E
S16,F19	PRGetAllJobs	W	H → E	PRGetAllJobs
S16,F20	PRGetAllJobs Send		H ← E
S16,F21	PRGetSpace	W	H → E	PRGetSpace
S16,F22	PRGetSpace Send		H ← E
S16,F23	PRJobSetRecipeVariable	W	H → E	PRJobSetRecipeVariable
S16,F24	PRJobSetRecipeVariable Acknowledge		H ← E
S16,F25	PRJobSetStartMethod	W	H → E	PRJobSetStartMethod
S16,F26	PRJobSetStartMethod Acknowledge		H ← E
S16,F27	Control Job Command Request	W	H → E	CJAbort CJCancel CJDeselect CJHOQ CJPause CJResume CJStart CJStop
S16,F28	Control Job Command Acknowledge		H ← E

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BrainSETTER300 （コンフィギュレーション生成ツール）

BrainSETTER300は、EQBrain300のコンフィギュレーションを支援するツールです。 BrainSETTERから設定情報を入力していただくだけで、必要な定義ファイルを自動生成します。

【機能】

データ定義／設定
各種パラメータ
データフォーマット
アドレス設定
各種データ設定等
データコンバート
GEMドキュメンテーション

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動作環境

	ハードウェア	推奨
CPU	Celeron 300MHz以上	* Vista以降OS時、 Intel Core2 Duo 2.13GHｚ以上
メモリ	256MB以上	1GByte以上 * Vista以降OS時、2GByte以上
HDD	2.0GB以上	30GB以上
インターフェース	Ethernetカード (HSMSの場合) RS232Cポート(SECS-Iの場合)
ソフトウェア	Windows XP Professional SP3 Windows Vista Business SP1 Windows 7 Professional