真空使用範囲は 13 Pa abs 以上です。これを超える高真空ではセンサが故障する可能性があります。
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高精度圧力センサモジュール
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC(燃料電池)実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。
真空使用範囲は 13 Pa abs 以上です。これを超える高真空ではセンサが故障する可能性があります。
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