精度保証できるのは定格レンジ範囲のみです。出力可能範囲は定格レンジの ± 150 ％ の範囲であり、精度はおおよそ仕様の 2 倍程度悪化します。また、正常復帰可能範囲は、下限では真空使用範囲値まで、上限では過大圧値までです。
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高精度圧力センサモジュール
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC（燃料電池）実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。