真空ポンプの能力によってはここまで引けますが、FP201A としては 130 Pa abs 以上が使用圧力です。これ以下の真空ではシリコンオイル内に気泡が発生し、タﾞイヤフラムが膨らんでそのまま加圧減圧を繰り返すとやがて亀裂が生じることがあります。
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