動作可能範囲はそれぞれの定格レンジ範囲の ± 150 % です。分解能は出荷時設定時定数 2 秒において、10 kPa レンジ：0.8 Pa、130 kPa レンジ：2 Pa、700 kPa レンジ：30 Pa、3 MPaレンジ：60 Paです。時定数を小さくすると、分解能が低下します。分解能の規定は、MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書をご確認下さい。
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[小形圧力センサ 高精度圧力センサモジュール] 動作可能入力範囲と最小分解能を教えて下さい。
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC（燃料電池）実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。