お客様から寄せられたCELLBrainの効果とメリットについて、よくある質問をご紹介いたします。課題解決にご活用下さい。
Q1：CELLBrain は、300mm 装置に対応していますか？
A1：CELLBrain は GEM、GEM300 をサポートしているため 300mm 装置に対応しています。
Q2：CELLBrain は、GEM に対応していない古い装置とも接続できますか？
A2：装置が SECS-II メッセージをサポートしている場合、接続できる可能性が高いです。またSECS-II メッセージをサポートしていない場合は、装置側の PLC に接続することも可能です。
関連業種
-
デバイスメーカー向けソリューション
YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。
関連製品＆ソリューション
-
CELLBrain
半導体やFPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラー・ソフトウェアです。製造管理システムとSECS/HSMS/PLC等を実装した装置をオンラインで接続します。