横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

半導体製造装置・機器ソリューション

塗布・現像・エッチング・洗浄・検査などの製造装置はもちろん、周辺機器や付帯設備、プロセス 改善に関する技術支援まで、半導体製造に関わる幅広いニーズに対応しています。
国内外の優れた製品を取り揃え、お客様の課題に寄り添った最適なソリューションをご提案いたします。

半導体製造装置・機器ソリューション

ウェット装置 ソリューション

半導体、MEMS、パワー半導体、III-V化合物半導体など幅広い分野向けに、安全性・自動化・省スペースを兼ね備えたSiconnex社のBATCHSPRAY®装置を提供します。
高スループットと薬液使用量削減を実現し、生産コストを抑えながら高品質な製造を可能にします。

リソグラフィー装置ソリューション

リソグラフィー装置ソリューション

研究開発用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに関わるあらゆる分野向けに、リソテックジャパン株式会社のレジスト塗布/現像装置を提供します。
半導体リソグラフィー工程に特化した多彩な機能を備え、微細加工に必要な高精度なプロセス制御と柔軟な装置構成を可能にします。

 

 

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