塗布・現像・エッチング・洗浄・検査などの製造装置はもちろん、周辺機器や付帯設備、プロセス 改善に関する技術支援まで、半導体製造に関わる幅広いニーズに対応しています。
国内外の優れた製品を取り揃え、お客様の課題に寄り添った最適なソリューションをご提案いたします。
ウェット装置 ソリューション
半導体、MEMS、パワー半導体、III-V化合物半導体など幅広い分野向けに、安全性・自動化・省スペースを兼ね備えたSiconnex社のBATCHSPRAY®装置を提供します。
高スループットと薬液使用量削減を実現し、生産コストを抑えながら高品質な製造を可能にします。
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