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ダイレクトドライブモータ

| Topics |
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| -製品資料(一般仕様書・取扱説明書・技術資料)の公開・改訂情報はこちらへ- | ||
Motion Dynamics / ダイレクトドライブモータ
| ダイナサーブ DM1□ / DR5H00 / DR□□ / DB5C | |
| ダイナサーブは、ギア等の減速装置なしで、1回転を400万分割以上の精度で回転制御できる、FA用の特殊サーボ・モータです。 各種FA用装置・機器、特にLED製造・検査装置、太陽電池製造・検査装置、二次電池製造・検査装置、半導体製造装置、ラベル印刷機、インデックス(分割器) 装置等に多数採用されています。 |
| リニアサーブ LM1□□ / LM2□□ / LM3□□ / LM5□□ | |
| リニアサーブは、ダイレクトドライブ方式を採用したリニアサーボモータです。 内蔵した当社独自の光学式リニアエンコーダを用いたフルクローズドループを構成し、高精度な位置決め制御ができます。また従来のボールネジACサーボモータでは実現できなかった滑らかな駆動特性を 持っています。ストローク長50mmから、推力40Nから400Nまで、標準形、高剛性形、高速形、高剛性高速形をラインアップ。幅広いアプリケーションに対応します。 |
| ドライバ(DrvGIII・DrvPIII) U□□□G3 / U□□□P3 | |
| ドライバ(DrvGIII・DrvPIII)は、制御性能と操作性の向上を追及したDYNASERV、LINEARSERV専用の ダイレクトドライブモータドライバです。接点I/Oに加えて、MECHATROLINK-II、CC-LinkとProfibus-DPのモーションコントロール・インタフェースに対応。 さらに、モータとドライバを簡単な操作でコントロールできる 「支援ツール(Windows版)」(無料)もご用意しています。 |
| DDステージ X-Y-Θ位置決めステージ | |
| LINEARSERV、DYNASERVを組み合わせ、お客様に代わってYOKOGAWAがステージをセットアップします。組み込みステージの精度が上がり、お客様の手間を省くオールインワンステージです。 |
ステージ製品 / 大型X-Yステージ
| タンデムスルーステージ TandemThroughStage | |
| 液晶パネル製造工程を一新する次世代プラットフォーム「タンデムスルーステージ」を開発しました。 第8世代マザーガラス基板に対応した大型X-Yステージに、ガラス基板の搬送機能も標準装備しています。液晶製造装置と搬送ロボットの一体化を実現し、製造ライン全体の生産性向上に貢献します。 |
| ブリッジステージ BridgeStage | |
| 第8世代ガラス基板に対応したLCD(液晶ディスプレイ)PDP(プラズマ)製造装置用プラットフォームです。構造解析による最適構造設計で石定盤を使わず短納期、DDリニアモータを高度に制御します。 コータ、デベロッパー、検査、リペア装置にふさわしいX-Yステージです。 |
製品資料のダウンロードには「お客様情報の登録」が必要です。
| 【改訂】2011.12.13 | 形名および仕様コード 技術資料(日本語) 18版 |
| 【改訂】2011.12.13 | 形名および仕様コード 技術資料(英語) 18版 |
| 【改訂】2011.11.22 | 形名および仕様コード 技術資料(日本語) 17版 |
| 【改訂】2011.11.22 | 形名および仕様コード 技術資料(英語) 17版 |
| 【改訂】2011.10.24 | LINEARSERV/DrvPIII 技術資料(日本語) 11版(LM□□□モータ用) |
| 【改訂】2011.10.24 | LINEARSERV/DrvPIII 技術資料(英語) 9版(LM□□□モータ用) |
| 【改訂】2011.09.30 | 操作表示ペンダントPC000G3 技術資料(機能説明書・日本語) 3版 |
| 【改訂】2011.09.30 | 操作表示パネルPC100G3 技術資料(機能説明書・日本語) 3版 |
| 【公開】2011.08.10 | DYNASERV/DrvGIII 技術資料(韓国語) 初版(DM□□、DR□□(DR5Aを除く)モータ用) |
| 【公開】2011.07.28 | DYNASERV/LINEARSERV DrvGIII 技術資料(日本語) 初版 MECHATROLINK-IIインタフェース差分技術資料(DM□□、DR□□(DR5Aを除く)、LM□□□モータ用) |
| 【公開】2011.03.09 | DYNASERV/DrvGII 製品技術資料(英語)(DM、DRモータ用) |
| 【改訂】2011.02.15 | 形名および仕様コード(新コネクタ付き仕様追加) 技術資料(日本語・英語) 16版 |
| 【改訂】2011.01.06 | DYNASERV/DrvGIII 技術資料(日本語) 14版(DM□□、DR□□(DR5Aを除く)モータ用) |
| 【改訂】2010.12.24 | DYNASERV/DrvPIII 技術資料(日本語) 17版(DM□□、DR□□(DR5Aを除く)、DB5Cモータ用) |
| 【改訂】2010.12.01 | DYNASERV/DrvGIII 技術資料(日本語) 13版(DM□□、DR□□(DR5Aを除く)モータ用) |
| 【改訂】2010.09.16 | DYNASERV/DrvPIII 技術資料(日本語) 16版(DM□□、DR□□(DR5Aを除く)、DB5Cモータ用) |
| 【改訂】2010.09.15 | 形名および仕様コード(DR5A-400用ドライバ追加など) 技術資料(日本語・英語) 15版 |
| 【改訂】2010.04.12 | 位置決め制御 簡易立ち上げ説明書(FFT機能による機械共振フィルタ自動設定方法追加) 技術資料(日本語) 2版 |






