液晶パネル製造工程を一新する次世代プラットフォーム「タンデムスルーステージ」を開発しました。
第8世代マザーガラス基板に対応した大型ＸＹステージに、ガラス基板の搬送機能も標準装備しています。液晶製造装置と搬送ロボットの一体化を実現し、製造ライン全体の生産性向上に貢献します。
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| 第8世代ガラス基板に対応したLCD（液晶ディスプレイ）PDP（プラズマ）製造装置用プラットフォームです。
構造解析による最適構造設計で石定盤を使わず短納期、DDリニアモータを高度に制御します。
コータ、デベロッパー、検査、リペア装置にふさわしいX-Yステージです。
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| ギア等の減速装置なしで、1回転を400万分割以上の精度で回転制御できる、FA用の特殊
サーボ・モータです。
各種FA用装置・機器、特に半導体製造装置、ラベル印刷機、インデックス（分割器）
装置等に多数採用されています。 |
| LINEARSERVは、ダイレクトドライブ方式を採用したリニアサーボモータです。
内蔵した当社独自の光学式リニアエンコーダを用いたフルクローズドループを構成し、
高精度な位置決め制御ができます。また従来のボールネジACサーボモータでは実現できなかった滑らかな駆動特性を
持っています。
ストローク50mmから1800mmまで18種類、推力50Nから400Nまで4種、標準形、高剛性形、高速形、高剛性高速形を
ラインアップ。幅広いアプリケーションに対応します。 |
| インテリジェント・ドライバは制御性能と操作性の向上を追及したDYNASERV、LINEARSERV専用の
ダイレクトドライブモータドライバです。モータとドライバを簡単な操作でコントロールできる
「支援ツール（Windows版）」もご用意しています。 |
| LINEARSERV、DYNASERVを組み合わせ、お客様に代わってYOKOGAWAがステージをセットアップします。
組み込みステージの精度が上がり、お客様の手間を省くオールインワンステージです。 |
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