組み込みコントローラe-RT3用 業界最多チャネル数の「多チャネルRS通信モジュール」発売のお知らせ

2013年3月14日発表

 横河電機株式会社(本社:東京都武蔵野市 代表取締役社長:海堀周造)は、半導体製造装置や電子部品・電子機器組立て装置などへの組み込みコントローラe-RT3™(イーアールティースリー)用に、「多チャネルRS通信モジュール」を開発、3月15日から販売を開始します。
 シリアル通信規格のRS通信に対応した業界最多8チャネルの通信モジュールです。コントローラに多数の調節器やセンサを接続して制御する製造装置の小型化、低コスト化に貢献します。今回は、RS通信対応モジュールの第一弾としてRS-232Cモジュールを発売します。

※RS通信
RS-232C、RS-422、RS-485の3種がある

e-RT3 多チャネルRS通信モジュール
e-RT3 多チャネルRS通信モジュール

開発の背景

 製造装置は、ボードタイプのコンピュータやPLC(プログラマブル・コントローラ)によって制御されています。半導体製造装置のうちシリコンウエハに薄膜を形成する装置など反応炉機能を備えた装置は、製品搬送など駆動機能に加え、温度や流量の制御が必要です。そのためコントローラには、ヒーターやポンプなどの多数の調節器が接続されます。また、フィルム製造などロールtoロール技術を利用する製造装置は、シートの厚さ計測のために多数の変位センサが接続されます。ボードタイプのコンピュータは、1ボード当たりチャネル数(調節器への信号出力数、センサからの信号入力数)は多いが、サイズが大きく高価格です。一方PLCは、比較的安価でモジュール1個当たりのサイズは小さいものの、チャネル数が少ないためモジュールが複数必要でした。
 当社は、装置の小型化・低コスト化に貢献する組み込みコントローラe-RT3用の多チャネル通信モジュールを開発しました。

製品の特長

  1. PLC業界で最多8チャネルのRS通信対応モジュール
    長い歴史があり産業分野で普及しているシリアル通信規格のRS通信に対応した8チャネルの「多チャネルRS通信モジュール」です。他社にはない1モジュール当たり8チャネルのラインアップで製造装置の小型化に貢献します。
  2. 価格が3分の1
    RS通信モジュールの当社従来製品(2チャネルのRS通信モジュール4モジュール)と比べ、価格が3分の1になり大幅にコストを削減します。

主な市場と用途

RS-232C通信対応の半導体製造装置、フィルム製造装置など各種製造装置の組み込みコントローラ

e-RT3について

e-RT3は、半導体製造装置などの各種装置の制御を行う組み込みコントローラ。プログラミング言語はC言語主体。組み込みコントローラに使用される代表的なリアルタイムOSであるVxWorks®、NORTi® (ITRON)、Windows CE®、OS-9、Linux®に対応。2004年11月にe-RT3を発売し、2007年10月には、上位機種「e-RT3 2.0」を発売。「e-RT3 2.0」は、小型な筐体に高速プロセッサ(PowerPC 533MHz)と豊富な外部インターフェースの搭載によって、装置の小型化、高性能化および高速化を実現した。

以上

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