横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

EES ソリューション : e-fabDoctor

EES ソリューション : e-fabDoctor


概要

e-fabDoctor シリーズは、業界標準仕様の最新 SEMI スタンダードに準拠した装置データ/プロセスデータの収集と解析のための EES (Equipment Engineering System)プラットフォームです。

お客様の装置を診断して、異常の早期発見・稼働率改善・保全費用の削減を実現します。

10年以上に渡り、多くの実績を積み重ねてきた、大変信頼性が高く将来も安心なパッケージです。


特徴

  • SEMIスタンダードの学習期間や仕様検討期間が短縮でき、工数削減が可能です。
  • 100% 横河内製のため、お客様の要求に迅速に対応できます。
  • 容易なプログラミングインターフェース、PLCインターフェース(ノンプログラミング実装)を提供します。
  • 豊富な導入実績により、どのような装置構成でも柔軟に対応可能です。

各製品の位置付け


製品ラインナップ・資料

製品 説明 カタログ

e-fabDoctor Passport

SEMI が提唱する業界標準仕様の EDA I/F (Interface A) を実現する製品です。
1stフリーズ・2ndフリーズともに対応しております。
弊社製 e-fabDoctor FDC / e-fabDoctor EEManager に加え、他社製 EDA
クライアントとも接続が可能です。
データソースとして、FA-M3R 等の PLC やセンサ、SECS メッセージが利用可能です。

PDF(1,017KB)

e-fabDoctor FDC

EDA I/F からの装置データを入力とし、リアルタイムで不良解析を実行する製品です。
SPC や多変量解析などの標準判定に加え、ユーザ独自のアプリケーションを追加可能です。

PDF(1,138KB)

e-fabDoctor EEManager

e-fabDoctor Passport 等 EDA I/F から送信される装置データをリアルタイムデータベースにロギングする製品です。

PDF(1,017KB)

e-fabDoctor Finder

e-fabDoctor EEManager や e-fabDoctor FDCに接続し、リアルタイムでの装置データの閲覧が可能です。過去のトレンド表示やデータの簡易解析も可能です。

 

 


動作環境(e-fabDoctort Passport / Finder)

  • ハードウェア
    • CPU    : Intel Core i3 2GHz 以上
    • メモリ   : 4GB 以上
    • HDD    : 100GB 以上
  • OS
    • Windows 10

                ※ e-fabDoctor シリーズの現在対応しておりますWindows10 のエディションは担当営業までお問い合わせください。

動作環境(e-fabDoctort EEManager / FDC)

  • ハードウェア
    • CPU    : Intel Core i3 2GHz 以上
    • メモリ   : 4GB 以上
    • HDD    : 100GB 以上
  • OS
    • Windows Server 2012

                ※ e-fabDoctor シリーズの現在対応しておりますWindowsServerのエディションは担当営業までお問い合わせください。


その他サービス

  • EDA I/F トレーニング
    EDA I/F の仕様を分かりやすく、かつ迅速に理解が出来る独自のトレーニングプログラムがございます。お客様先に出向いての開催も可能です。
     
  • データ解析コンサルティング
    豊富な実績とノウハウを活かしてお客様の装置のプロセスデータの解析と、予兆/予防保全や装置品質改善に向けたご提案を行うことが可能です。
     
  • カスタマイズアプリケーションの開発
    e-fabDoctor を使用したカスタマイズアプリケーションの開発も可能です。

SEMI規格対応表

SEMI 規格

Description

e-fabDoctor

SEMI E120

Common Equipment Model (CEM)

SEMI E121

XML Style Guide

SEMI E125

Equipment Self Description (EqSD)

SEMI E128

XML Message Structures

SEMI E132

Equipment Client Authentication and Authorization

SEMI E134

Data Collection Management

SEMI E138

Common Components Standard

SEMI E148

Time Synchronization and Definition

SEMI E164

EDA Common Metadata

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください


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