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ミニマルファブ

ミニマルファブ

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 当社は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研)が主導する、次世代の半導体製造工場の実現を目指した国家プロジェクト「ミニマルファブ技術研究組合」に参画しています。ミニマルファブの、装置の製造を除いた、お客様の装置の購入から運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供しています。
 2016年4月、東京都内でミニマルファブに触れていただける「横河ミニマルアプリケーションラボ」が本社構内にオープンいたしました。詳細は下に掲載しておりますPDFをご覧ください。見学をご希望の方はムービーの下にあります見学申込フォームよりお申し込みください。
 SEMICON Japan2016でミニマルファブのメリットがわかりやすいと大変ご好評をいただきましたムービーを公開いたします。ぜひ一度ご覧ください。



横河ミニマルアプリケーションラボ見学申込フォーム

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国立研究開発法人 産業技術総合研究所の広報誌「産総研LINK(2017年3月号 No.11)」に、当社の記事が掲載されました。

横河ミニマルアプリケーションラボの記事が日経BPnetの「Digital Transformation」に掲載されました(後編)。(2016年5月25日)

横河ミニマルアプリケーションラボの記事が日経BPnetの「Digital Transformation」に掲載されました(前編)。(2016年5月18日)

横河ミニマルアプリケーションラボの記事が日経テクノロジーオンラインに掲載されました。
(すべての記事をお読みいただくには、会員登録が必要です。)(2016年3月30日)


ミニマルファブについて

 ミニマルファブとはハーフインチウェハを製造基板単位とする革新的な半導体製造生産システムであり、産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会(参加:平成28年6月時点138団体)が21世紀のあるべきファブシステムを創造するために活動をおこなってきました。
 ファブシステム研究会の活動と共に、ファブの研究開発を目的としたミニマルファブ技術研究組合が平成24年5月9日に設立され、平成28年6月現在 22企業(当社も参画)、1国研(産総研)が組合員として参画し、ファブの開発を進めております。

※ミニマルファブ技術研究組合は設立当初21企業、1国研(産総研)によりスタートし、平成24年度経済産業省関連予算「革新的製造プロセス技術開発(ミニマルファブ)」の採択を受け平成24年度から26年度までの3年間の国家プロジェクトとして研究開発を実施しました。 国家プロジェクト終了後も継続して研究開発体制を維持しつつ運営しています。

ミニマルファブ技術研究組合へのリンクはこちらから


どこでもクリーンブースZ

 「どこでもクリーンブースZ」は、ミニマルファブのメンテナンス時に一時的にクリーン度が求められることから開発された、いつでもどこでも設営可能な簡易クリーンブースです。全く新しいクリーンルームの考え方をご提案します!

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