横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

PIM

半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御し、フォトリソ工程のインライン制御を実現するソフトウェアです。オンラインコントローラと露光機・塗布現像機のI/Fを実現します。

詳細

製品概要

Photo Inline ManagerPIM(Photo Inline Manager)は、露光機および塗布・現像機を連携制御し、効率的なフォトリソ工程を実現します。号機、レチクル、ロットに対する補正処理、設備の点検機能を含めた自動化を実現し高度なプロセス制御が必要となるフォトリソ工程運用を可能とします。
 

 

PIMの概要

特長

  • 効率的なフォトプロセスの実現
  • 設備に存在しない統一化制御インターフェイス
  • 露光機関連のサブシステムとの接続による露光プロセスの高度プロセス制御
  • 設備の点検機能を含めた自動化の実現製品の品実向上

 

主な導入業種

半導体・FPD製造工場 フォトリソ工程(露光工程)インライン

機能

半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御に求められる機能、および性能を盛り込み、フォトリソ工程の見える化し業務の省力化、および効率向上を支援します。

 

基本機能

  • 装置の稼動状態が1目でわかるGUI
    • 装置、ホストとのライン状態表示
    • レチクル、ポート状態表示
    • 通信メッセージ表示

PIMメイン情報GUI

メイン情報GUI

  • レジストの管理
    • レジスト設置確認機能
    • レジストの残量確認機能
    • レジストの有効期限
  • ロット情報
    • レシピ情報など作業データ詳細表示
    • ウェハごとの進捗情報を表示
  • 通信機能
    • SECS通信インターフェース(SEMI標準規格に準拠)
    • HSMS通信インターフェース(SEMI標準規格に準拠)
  • 露光機内レチクル管理機能
    • 装置内レチクルのPIMから操作機能
    • レチクルの情報(ポジション、ゴミ検査結果)をホストへ報告機能
  • 枚葉管理機能
  • レシピ補正機能
  • イベント・アラーム設定機能
  • 稼動状態報告機能
  • 日常点検自動化機能

PIM ロット状態表示GUI

ロット状態表示GUI

 

拡張機能

  • EESサーバーとの通信
  • 補正値制御サーバ間通信インターフェイス
  • オンライン/オフライン運用でのユーザーインターフェイス

 

優位性

PIM は、生産設備を選ぶことなく、共通化されたプラットフォームとしてエンジニアリングノウハウを反映できるフォトリソ工程制御を実現します。

  • 作業ミスの低減
  • オンライン制御対応
  • 装置保全向上
  • 製品の品質向上

導入効果

フォトリソ・インライン装置の作業のムダを排除し、作業ミスの低減、作業効率向上や装置保全性の向上を実現します。

 

経営効果

フォトリソ工程の見える化

  • 変革とスピードが求められる現在の経営環境において、フォトリソ工程の見える化を実現し、経営の判断、業務の判断をより迅速にフィードバックさせる環境を提供します。
  • 市場の変化に機敏に柔軟に対応できる露光機内レチクル管理やレシピ補正を実現します。

システム構成

PIM は、規模に応じて柔軟なシステム拡張を行うことができます。

 

基本構成

PIMシステム構成

 

動作環境

サーバー

CPU: Pentium4 2.8GHz
メモリー: 512GB以上
通信カード: Ethernetカード(HSMSの場合)、RS232Cカード(SECSの場合)
(最新のOSへの対応状況につきましては、お問い合わせください)

関連情報

PIMの保守・運用について知りたい
概要:

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PIMの導入について知りたい
概要:

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PIMの効果とメリットについて知りたい
概要:

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