お客様から寄せられたPIMの効果とメリットについて、よくある質問をご紹介いたします。課題解決にご活用下さい。
Q1：露光機および塗布・現像機を連携制御できますか？
A1：露光機および塗布・現像機を連携制御し、効率的なフォトリソ工程を実現します。
Q2：ロット補正処理、設備メンテナンスを含めて自動化できますか？
A2：号機、レチクル、ロットに対する補正処理、設備の点検機能を含めた自動化を実現し高度なプロセス制御が必要となるフォトリソ工程運用を実現とします。
関連業種
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デバイスメーカー向けソリューション
YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。
関連製品＆ソリューション
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PIM
半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御し、フォトリソ工程のインライン制御を実現するソフトウェアです。オンラインコントローラと露光機・塗布現像機のI/Fを実現します。