お客様から寄せられたPIMの導入について、よくある質問をご紹介いたします。課題解決にご活用下さい。
Q1：導入済みの CELL コントローラーと接続できますか？
A1：お客様の設備標準仕様によるホスト通信に対応します。
Q2：エンジニアリングノウハウは反映できますか？
A2：共通化されたプラットホームとしてお客様のエンジニアリングノウハウを反映できるフォトリソ工程制御を実現することが可能です。
関連業種
-
デバイスメーカー向けソリューション
YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。
関連製品＆ソリューション
-
PIM
半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御し、フォトリソ工程のインライン制御を実現するソフトウェアです。オンラインコントローラと露光機・塗布現像機のI/Fを実現します。