お客様から寄せられたPIMの保守・運用について、よくある質問をご紹介いたします。課題解決にご活用下さい。
Q1：ステータス表示はどのように表示されますか？
A1：装置、ホストとのライン状態、レチクル、ポート状態表示や通信メッセージ表示をひと目で分かるように表示します。
Q2：サブシステムとの接続は可能ですか？
A2：露光機関連のサブシステムとの接続による露光プロセスの高度プロセス制御を実現します。 例えば、EES サーバや補正値制御サーバとの通信も容易に接続できます。
業種
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デバイスメーカー向けソリューション
YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。