【横河電機/サンエス】照明用の発光ダイオード(LED)チップ4個を同時に検査する「高輝度LEDテストシステム」発売

2012年9月14日発表

横河電機株式会社
株式会社サンエス

 横河電機株式会社(本社:東京都武蔵野市 代表取締役社長:海堀 周造 以下横河電機)と株式会社サンエス(本社:広島県福山市 代表取締役社長:佐藤 卓己 以下サンエス)は、照明用の発光ダイオード(LED)チップ4個の光学特性と電気特性を同時に測定する検査システム(4マルチDUT)「高輝度LEDテストシステム」を共同で開発、10月1日から発売しますのでお知らせします。LEDを1個ずつ検査する場合と比較して検査時間を6割短縮できるので、お客様の検査コストの大幅な削減を実現します。
 なお、本製品を、9月25日から27日までパシフィコ横浜で開催されるLED Japan 2012に出品します。

※DUT(Device Under Test):検査対象

高輝度LEDテストシステム
高輝度LEDテストシステム

開発の背景

 低消費電力・長寿命なLED照明器具は、節電志向の高まりを背景に、市場が急速に拡大しています。市場拡大と同時に参入企業が増加、最終製品の低価格化が進み、LEDチップメーカは徹底したコスト削減に取り組んでいます。検査効率の向上もまた競争力を強化する上で重要な課題となっています。自動検査システムに対して、複数のLEDを同時に検査して検査工程のスループットを向上させたいというお客様のニーズがありますが、LEDの特性上、複数個を同時に検査することは難しいといわれていました。
 このたび、横河電機の高速分光測定技術と、サンエスの半導体製造装置に関する豊富なノウハウを結集して、4マルチDUTの「高輝度LEDテストシステム」を共同で開発しました。

高輝度LEDテストシステムの構成

 横河電機は、光学特性を測定する分光計「SP1000」および電気特性の測定と駆動電流やテスト信号を出力するソースメジャーユニット「FS-18V/50V」を、サンエスは、検査対象のLEDチップに電流を流すためにウェハに針を当てるための装置(プローバ)を開発しました。自動で検査する制御機能や、テスト実行指示を与えるHMI機能を備えたPCもシステムに組み込まれているので、お客様は、これらを一つひとつ別々に購入して構築する必要がなく、「高輝度LEDテストシステム」1台で、照明用LEDの検査を実施することができます。

4マルチDUT対応 高輝度LEDテストシステム
【システム構成図】

製品の特長

  1. LEDチップを4個同時に検査
    LEDチップを4個同時に検査することができるので、一つずつ検査する場合と比較して検査時間を6割短縮し、検査コストの大幅な削減に貢献します。
  2. 高速・高い安定性・高い再現性
    高速に光学特性を測定する分光計「SP1000」を横河電機が開発しました。「SP1000」が、ソースメジャーユニット「FS-18V/50V」からLEDへの駆動電流の入力タイミングと合わせて光学特性を測定することで、測定を短時間に終え駆動電流による発熱を最小限に抑えます。また、周辺の温度変化の影響を受けにくい設計により、再現性の高い安定した検査結果を得ることができます。

主な市場

LEDチップメーカ、テストハウス、パッケージングハウス

用途

照明用LEDのダイシング後のチップ検査工程、研究、開発、評価、品質保証など
ウェハ検査工程/パッケージング後の最終検査工程にも応用可能

以上

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