半導体や電気電子部品製造の低酸素工程の酸素濃度管理向け低濃度ジルコニア式酸素濃度計「OX400」発売のお知らせ

2009年6月8日発表

 横河電機株式会社(本社:東京都武蔵野市 代表取締役社長:海堀 周造)は、半導体や電子機器の製造で低酸素状態を必要とする工程の酸素濃度管理用に、低濃度ジルコニア式酸素濃度計「OX400」を開発、6月8日から販売を開始します。
 OX400は、独自技術によりセンサ寿命約3倍(当社比)、応答速度約2倍(当社比)の高性能を達成しました。当社は「OX400」により、半導体や電気電子部品製造装置に搭載する低濃度酸素濃度計分野に参入します。

低濃度ジルコニア式酸素濃度計「OX400」

開発の背景

 当社は1964年に工業用分析計市場に進出し、液体、気体の性状や濃度などを測定する分析計の開発・製造・販売を行ってきました。酸素濃度計関連では、1980年のポータブル酸素濃度計の発売以来、主にボイラや焼却炉などの燃焼管理用酸素濃度計を開発、販売してきました。
 この間の技術やノウハウの蓄積を基に、今回0-10ppmの低酸素濃度を計測できる高精度・高信頼の「OX400」を開発し、半導体や電子機器製造装置向けの新たな市場に進出します。

主な特長

  1. 長寿命な新型センサ
    センサ素子の要であるジルコニアと白金による薄膜の形成に独自技術を採用し、当社従来比3倍の長寿命化を実現しました。
    また、センサ部分を円筒型にして測定ガスを拡散しやすいようにしたことで低酸素濃度領域において30秒以下という高速な応答特性を可能にしました。
  2. 優れたメンテナンス性
    センサの交換は、これまで工場引き取りなどで対応していましたが、新型センサの採用により現場で一式の交換が可能です。また、センサ寿命予測や温度センサ異常などの自己診断機能も充実させたことで、メンテナンスにかかる労力を大幅に減らすことができます。

主な市場

半導体、電気電子部品製造装置メーカ

用途

酸素濃度の測定、また酸素濃度測定を利用した酸素濃度制御

以上

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