横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

フーリエ変換近赤外分光分析計 NR800

近赤外分光分析計NR800は、石油精製から半導体プロセスまで、プロセスからラボまで、永年にわたり培ってきた分光分析技術とアプリケーションノウハウで命を吹き込みます。

各種プロセスにおける性状・成分濃度のオンラインリアルタイム連続多項目同時測定の実現だけでなく、ラボ・プロセスの検量線一元管理,要員教育・予備部品在庫の削減等による運用・メンテナンス費用の削減にも貢献します。
化学プロセスの溶剤・モノマー中の微量水分測定、半導体ウェットプロセスや液晶基板製造プロセスにおける洗浄液管理、レジスト管理、エッチング液管理など幅広く使用されます。

分析計導入検討段階での測定フィージビリスタディ、各種サンプルテストについても承っておりますのでお気軽にお問い合わせください。
また、中赤外、および粉体、固体アプリケーションについてもお問い合わせください。

特長

高安定性・信頼性

分光器は、フーリエ変換型分光の特長である高スループット、高速測定に加えて定評のある摺動部のないユニークな干渉計を使用、また耐振動メカニズムを導入して高い信頼性と長期安定性を実現しました。測定・連続運転にはパソコンを必要とせず、システム全体の信頼性の向上を図っています。

広波長域を一つの検出器で

NR800では波長域が900 nmから2500 nmまで広がりました。特に長波長域での視野の広がりは、OH測定のほか、より広いアプリケーションと高精度測定を実現します。検出器は一つで全波長域をカバーします。

高分解能

NR800の波数分解能は4 cm-1から。より的確な波長域を選択して最適な検量線作成が可能になり、ひいてはより精度の高い測定が実現可能となります。特に薬品、食品などのアプリケーションで高分解能は大きな力を発揮します。

ラボからプロセスへシームレスな結合

高精度・安定性を持ったハードウエアによりラボからプロセスへの検量線移植、あるいは機器間の検量線相互移植が可能になり、 ラボ-プロセス測定の間の垣根をとりはらいました。またプロセス用の他、デスクトップ型(ラボ使用)も製品ラインアップに加わりました。

ダブルビーム採用

NR800はダブルビーム方式を採用しているため、環境変化や設置条件の影響を受けた光の減衰を補正し、安定した測定が可能です。

多流路測定もマルチチャネル同時連続測定(最多4チャネル)で

多流路アプリケーションにはマルチチャネルで対応可能。最多4箇所のサンプルを同時連続的に測定することができます。マルチチャネル光学系は可動部のない高信頼性高速測定用設計です。
このほか、外部付加ユニットによる可動式16流路切換測定にも対応可能です。

プロセス用として

従来機種(NR500)は、真のプロセス分析計として干渉計含めて一からプロセス用として設計されました。 NR800はこの設計思想を引き継ぎ、さらに豊富な自己診断機能、ハードウエア信頼性予測などを盛り込み、プロセス機器としての機能を充実させました。

詳細

システム構成

据付タイプ

据付タイプ

 

デスクトップタイプ

 

デスクトップタイプ

アプリケーション

石油精製:ギブアウエイの削減など製品コスト削減

  • オフサイト各種石油性状値分析 (RON,MON,RVP,蒸留点、密度他)
  • オンサイト石油性状値 (RVP,蒸留点など)

化学:製品コスト削減と操業最適化

  • ポリマー・モノマー関連
    ポリオール、PP,PET,EP,PE,PVA,MMA,SBS,PS,類のOH価、酸価、 ヨウ素価、官能基分析、粘度、添加物量、 分子量、残留モノマ、反応度、水分、他
  • 各種成分濃度
  • 各種溶媒濃度
  • 添加剤濃度
  • 各種化学薬品、製品中水分濃度、微量水分

半導体・液晶関連:歩留まり向上

  • フォトレジスト回収液濃度
  • 剥離剤濃度
  • 剥離剤中水分濃度
  • 各種溶媒濃度
  • 洗浄液濃度

その他:歩留まり向上

  • 電池製造における電解液濃度
  • 有機シリコン関連濃度
  • 製薬プロセスの溶媒濃度
  • 製薬プロセスの濃度

NR800はサンプルの物質濃度、物性値などを近赤外分光分析を用いることによって高速、非破壊測定します。近赤外分光分析は測定物へ近赤外光を照射して得られる、透過光や拡散反射光のスペクトルから、測りたい濃度や性状値と固有な相関を持つ波長域の強度を求め、あらかじめ作成された検量線から濃度や性状値を算出します。検量線はラボ分析値とスペクトルデータから多変量解析(回帰分析)を用いて作成します。

NR800は分光方式としてマイケルソン干渉計を用いたフーリエ変換型分光法を採用、回折格子や干渉フィルタを用いて光を分光することなく、光源から干渉光(インターフェログラム)を発生させ測定光(参照光)をフーリエ変換する事でスペクトルを測定します。

分析信号の流れ

関連情報

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