横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

限界電流式酸素濃度計 OX102

限界電流式酸素濃度計OX102は、ppmレベルの低濃度から空気レベルの%オーダまで1台で対応できる高性能の酸素濃度計です。
N2リフロー炉の炉内ガスや半導体雰囲気管理用などppmレベルの酸素濃度の測定に使用されます。

特長

  • 100 ppmから25%までの酸素濃度を一台で測定
  • 簡単操作のワンタッチ校正
  • 自己診断機能により信頼性向上
  • センサ交換はワンタッチでOK
  • コンパクトな96サイズ、設置場所に困りません
  • 信頼の専用アクセサリー
    • 専用のサンプリングユニット(酸素濃度計と別置き形)
      (ダスト、ミスト、有機溶剤などを除去)
    • 簡易形校正キット
      現場で簡単に校正可能 (1 L簡易ボンベを使用)
  • 可燃性ガスや腐食性ガスが混入している場所での酸素濃度の測定はできません

 

アプリケーション

  • 研究開発実験用・部品加工グローブボックス
  • 環境・醗酵・生化学等実験用クリーンルーム
  • 食品包装時のフローガス連続測定
  • エージングマシン

詳細

仕様

測定対象ガス 窒素ガスおよび混合ガス(シリコンガス、可燃性ガス、有機溶剤を除く)中の酸素濃度
測定原理 限界電流方式
サンプリング方式 自然拡散方式
測定ガス条件 温度:0~70°C
湿度:0~80%RH(結露しないこと)
圧力:1013±40 hPa (絶対圧力)
構造 屋内設置、パネルマウント形
測定範囲 0-25%
測定レンジ 0-100 ppm、0-1000 ppm、0-10000 ppm、0-25% の自動/固定切替の2モード
繰返し性 ±15 ppm
(測定範囲20-100 ppm)
±25 ppm
(測定範囲100-1000 ppm)
読取値±3%
(測定範囲1000-5000の時)
±0.25%
(測定範囲 1-25%)

 

特性

繰り返し性: ±1%FS
直線性: ±2%FS 但し、0-100 ppm 以下では±3%FS
応答性: 90%応答 0-1vol%以上; 10秒以内
ドリフト: ±2%FS/週

 

測定原理

ジルコニア固体電解質に電流を流すと、陰極から陽極へと酸素が移動します(酸素ポンプ作用)。ここで、陰極での酸素の流入を多孔質アルミナ基板で限定すると電圧を増加しても電流が一定に飽和する領域が生じます。その電流は限界電流と呼ばれ、酸素濃度に比例することから一定の電圧を印加することによって得られる電流値より酸素濃度を検出します。

測定原理 image1
測定原理 image2

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(an-ox100-02-proper-use)
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(an-ox100-04-calibration)
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測定対象ガス: 窒素ガスおよび混合ガス(シリコンガス、可燃性ガス、腐食性ガス、酸化還元ガスおよび有機溶剤を除く)中の酸素濃度 測定対象ガスの条件: 測定対象ガス温度:0~70℃ 測定対象ガス湿度:20~80%RH(ただし、結露なきこと) 測定対象ガス圧力:1013±40hPa 測定対象ガス流速:1m/sec以下 可燃性ガスや腐食性ガスを含んでいるガスの測定はできません。 水素、一酸化炭素、メタンおよびプロパンを含んでいるガスの測定もできません。 ...
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