雰囲気ガス管理用酸素濃度計 OX100

雰囲気ガス管理用酸素濃度計OX100は、0~1000 ppmレベルの低濃度から0~25%のオーダまで1台で対応できる高性能の酸素濃度計です。
グローブボックスなどの半導体・電子部品の各種製造プロセス雰囲気ガス中の酸素濃度監視やクリーンルームの酸欠監視用に最適の限界電流式酸素濃度計です。長期間にわたって安定かつ高精度な測定ができ、簡単な操作・小型化により装置組み込みに最適です。
また、微量の有機ガスを含む用途では専用のサンプリングユニットも用意しています。

特長

  • 1000 ppmから25%までの酸素濃度を一台で測定できます。
  • ワンタッチ校正で操作は簡単です。
  • 自己診断機能により信頼性が向上しました。
  • センサ交換もワンタッチでOKです。
  • コンパクトな96サイズ、設置場所に困りません。
  • 信頼の専用アクセサリーをご用意しています。
    • 専用のサンプリングユニット(酸素濃度計と別置き形)
      (ダスト、ミスト、有機溶剤などを除去)
    • 簡易形校正キット:現場で簡単に校正可能 (1 L簡易ボンベを使用)
  • 可燃性ガスや腐食性ガスが混入している場所での酸素濃度の測定はできません。

 

アプリケーション

  • 研究開発実験用・部品加工グローブボックス
  • 環境・醗酵・生化学等実験用クリーンルーム
  • 食品包装時のフローガス連続測定
  • エージングマシン
     

仕様

測定対象ガス 窒素ガスおよび混合ガス(シリコンガス、可燃性ガス、有機溶剤を除く)中の酸素濃度
測定原理 限界電流方式
サンプリング方式 自然拡散方式
測定ガス条件 温度:0~70°C
湿度:0~80%RH(結露しないこと)
圧力:1013±40 hPa (絶対圧力)
構造 屋内設置、パネルマウント形
測定範囲 0-25%
測定レンジ 0-1000 ppm、0-25%(自動切替)
繰返し性 スパンの±5% (測定レンジ0~1000 ppmで酸素濃度0~100 ppmの時)
スパンの±2% (測定レンジ0~1000 ppmで酸素濃度100~1000 ppmの時)
スパンの±2% (測定レンジ0~25%の時)

測定原理

ジルコニア固体電解質に電流を流すと、陰極から陽極へと酸素が移動します(酸素ポンプ作用)。ここで、陰極での酸素の流入を多孔質アルミナ基板で限定すると電圧を増加しても電流が一定に飽和する領域が生じます。その電流は限界電流と呼ばれ、酸素濃度に比例することから一定の電圧を印加することによって得られる電流値より酸素濃度を検出します。

測定原理
測定原理

OX100/OX102限界電流式酸素濃度計には、出力のホールド機能はありません。
OX100/OX102限界電流式酸素濃度計は、ppmオーダーの低濃度測定が可能、センサも変換器も小型などの特長を生かした下記のアプリケーションや装置組み込み用として最適な酸素濃度計です。 水晶部品加工工程用グローブボックス グローブボックス内が不活性ガスに満たされるため、限界電流式酸素濃度計にとって最適の環境です。 研究開発部署実験用グローブボックス グローブボックス内で有機溶剤を使う場合は、別売のサンプリングユニットを前段に取り付けてください。 N2リフロー炉/自動半田付け装置 半田に含...
N2リフロー炉で半田に含まれているアルコールやフラックスが取り除かれていない場所で測定したい場合や、研究開発部署実験用グローブボックス内で有機溶剤を使う場合、アルコールやフラックスおよび有機溶剤が測定精度に影響を与えます。 サンプリングユニットは、有機溶剤などを取り除き、高精度の測定を行うための前処理装置です。 サンプリングユニットには、ダスト、ミストを除去するメンブレンフィルタ(2個)、測定ガスを吸引するポンプ、機溶剤などを除去する活性炭フィルタと測定ガス流量を監視する流量計より構成されていま...
OX100/OX102限界電流式酸素濃度計のセンサは、使用経過とともに徐々に劣化していきます。 大気1点校正を実施した際、校正がされずに「ALM」ランプが2秒以上点灯している場合は、センサの寿命ですので、センサを交換してください。 なお、センサを交換したときは、必ず下記のような作業を行ってください。 【1】 OX100の場合 (1) 0-1000ppmO2レンジを使用の場合は、必ず校正ガスの濃度範囲は700~1300ppmO2で1点校正してください。 (2) 0.1-25%O2レンジ使...
(1)OX100の場合は、注文時に指定されたコードにより下記のように設定されています。    警報値は客先にて設定していただきます。    設定された値を超えると「ALM」ランプが点灯し、接点がONになります。      OX100-1□□□□:上限警報      OX100-2□□□□:上限警報      OX100-3□□□□:下限警報 (2)OX102の場合は、上限警報値および下限警報値を客先にて設定していただきます。    上限警報値を超えると「H.ALM」ランプが点灯し、接点がONに...
OX100/OX102の校正について
(an-ox100-04-calibration)
【1】 OX100の場合 (1) 0-1000ppmO2レンジを使用の場合:標準ガス1000±100ppmO2で1点校正してください。 (2) 0.1-25%O2レンジ使用の場合:必ずエアーで1点校正してください。 (3) ppm~%までの範囲で使用の場合:    校正順序を必ずエアー1点校正を行った後、1000ppmO2の校正を行ってください。 【2】 OX102の場合 工場出荷時は、全レンジについて標準ガスでの校正を実施していますので、納入後すぐ使用する場合は...
OX100とOX102の使い分け
(an-ox100-02-proper-use)
OX100とOX102の主な違いを下表に示します。 OX102は、ppmオーダーの低濃度測定が必要なアプリケーションや酸素濃度が大きく変化するようなアプリケーションに適しています。 OX100は、一般用途に広く使われています。 ...
測定対象ガス: 窒素ガスおよび混合ガス(シリコンガス、可燃性ガス、腐食性ガス、酸化還元ガスおよび有機溶剤を除く)中の酸素濃度 測定対象ガスの条件: 測定対象ガス温度:0~70℃ 測定対象ガス湿度:20~80%RH(ただし、結露なきこと) 測定対象ガス圧力:1013±40hPa 測定対象ガス流速:1m/sec以下 可燃性ガスや腐食性ガスを含んでいるガスの測定はできません。 水素、一酸化炭素、メタンおよびプロパンを含んでいるガスの測定もできません。 ...
酸素濃度計の校正証明書は、下記製品について発行できます。 対象製品 ZR402G 分離型ジルコニア式酸素濃度計 変換器 ZR202G 一体型ジルコニア式酸素濃度計 ZS8C 防爆形ジルコニア式酸素濃度計 変換器 AV550G ジルコニア式酸素濃度計 アベレージングコンバータ TDLS8000 レーザガス分析計 校正証明書の種類としては、下記の4種類が用意できます。 なお、国家検定標準物質を使用しての校正証明書の発行には対応できません。 国家標準との関係を自己宣言したもの...
酸素濃度の測定は、省エネルギー・大気汚染防止・安全管理および品質管理などの目的で広く行われています。 下記に、測定方式別の主なアプリケーション例を列記します。 濃淡電池式ジルコニア式酸素濃度計   パッケージボイラの燃焼管理   発電ボイラの燃焼管理・燃焼制御   微粉炭ボイラの燃焼管理・燃焼制御   鉄鋼 熱風炉の燃焼管理・燃焼制御   鉄鋼 コークス炉の加熱燃焼排ガスの管理   鉄鋼 加熱炉および均熱炉の低酸素濃度管理   鉄鋼 焼結炉の漏風検知   石灰キルンの燃焼管理   セメントキル...
燃料の燃焼による排ガス中には、燃料中の炭化水素や水素の燃焼で生じた水蒸気が含まれています。 ジルコニア式酸素濃度計のように、煙道中のガスを直接測定するような場合は、水分を含んだままの排ガスを測定しています。このような条件での測定値は、「湿りガスベース」の値と呼ばれます。 一方、排ガスをサンプリングして測定するタイプの濃度計では、試料ガスは濃度計に導かれる過程で常温までガス温度が下げられ、凝縮水となった水分も試料ガスから除去されます。このように、水分を除去して測定した値は、「乾きガスベース」の値と...
空気比とは、燃料を完全に燃焼させるために理論的に必要な空気量(理論空気量)と実際に燃焼用として送り込まれた空気量との比をいいます。 空気比mは、次式によって算出されます。 このように、空気比は排ガス中の酸素濃度を測定することで求めることができます。 図1.空気比と熱効率の関係 図に空気比と熱効率の関係を示します。 燃焼制御において、燃焼用空気が少ない場合(空気比が小さい領域)、燃料は不完全燃焼となり、黒煙が発生します。これによりエネルギー損失が起こり、公害の問題も発生します。 ...
現在市販されている酸素濃度計の測定方法を分類すると下記のようになります。 ジルコニア式: 濃淡電池式 (弊社製品形名:ZR22G/ZR402G, ZR202G, ZS8D/ZS8C, OX400) 限界電流式 (弊社製品形名:OX100, OX102) 磁気式: 磁気流量比式 (弊社製品形名:MG8G, MG8E) 磁気風式 磁気力式ダンベル形 レーザ分光式: レーザ分光式(弊社製品形名:TDLS8000) 電極式: ガルバニ電池式 ポーラログラフ式 測定方式により、それぞれ長所およ...

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