CELLBrain

半導体やFPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラ・ソフトウェアです。製造管理システムとSECS/HSMS/PLC等を実装した装置をオンラインで接続します。

製品概要

CELLBrainは、業界標準仕様であるSEMIスタンダード(GEM, GEM300)に対応した半導体・FPD製造装置と製造管理システム(MES)を接続し、オンライン化(自動化)を実現します。セル・コントローラとして貴社で導入予定/導入済みの製造装置のきめ細やかな高度制御、データ収集が可能です。

 

特長

業界標準

  • SEMIより発行されているGEM、GEM300(CMS, CJM, PJM, STS,OSS)スタンダードに対応
  • SEMIをはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックを実施

統一プラットフォーム

  • 300 mm対応装置だけではなく、GEM準拠装置や従来のSECSIIべースとの混在接続が可能

プログラミングレス

  • 装置毎に異なる通信メッセージやデータ収集設定を、ハードコーディングすることなく、プログラミングレスで設定できる開発支援環境BrainSETTERを用意

各種モードサポート

  • ホストがコントロールするオンライン・リモートだけではなく、オンラインローカルにも対応
CELLBrain概要

運用管理支援アプリケーション

  • 複数のCELLBrainや、装置毎の定義情報を一括管理するためのマネジャーアプリケーションCELLManagerを用意

 オンライン業務支援(OBS:Online Business Service)との連携

  • 半導体・FPD製造工場のシステム運用の観点から、装置のオンライン化の業務を支援するOBS(Online Business Service)と連携し製造ラインの垂直立上を実現

 

主な導入業種

  • 半導体製造業
  • FPD製造工程
  • 電子デバイス製造工程

機能

CELLBrainは、SEMIスタンダードに対応したオンライン機能を持った半導体・FPD製造装置を接続し、製造管理システム(MES)とのデータインタフェースを実現します。

 

基本機能

CELLBrainの機能

  • 装置情報管理
  • ロット情報管理
  • シナリオ設定機能
  • (メッセージ、イベント、ステータス、リモートコマンド、アラーム、エラーメッセージなど)
  • GEM、GEM300機能
  • 実績収集機能
  • 対装置通信機能(HSMS通信、SECS通信)

SEMIスタンダード対応

  • E4  : SECS-I通信プロトコル
  • E37: HSMS通信プロトコル
  • E5  : SECS-IIメッセージスタンダード
  • E30: GEM(包括的装置モデル)
  • E39: オブジェクトサービススタンダード
  • E40: Process Job管理
  • E94: コントロールジョブ゙管理
  • E87: キャリア管理スタンダード
  • E90: Substrateトラッキングスタンダード
  • E36: 半導体製造装置情報タグ仕様

 

拡張機能

  • 装置特殊運用対応
  • 各種ホスト接続機能
  • SPC制御機能
  • PLC I/F機能
  • レシピ管理システム (e-RecipeSTORE) 接続機能
  • 補正値サーバ接続機能

 

優位性

  • オンライン制御対応による生産効率と信頼性の向上
  • 作業ミスの低減
  • 製造ラインの垂直立上
  • 豊富な運用管理ツールによる保守作業工数の低減

導入効果

CELLBrainは、オンライン制御(自動化)を実現することにより生産効率の向上、作業ミスの低減を実現します。

 

経営効果

  • 各種多様な装置のオンライン化実績があり、貴社の製造工場の早期立ち上げ貢献
  • 装置効率の向上と製造コストの削減を実現

業務効果

  • 装置のオンライン(自動)化により、省人化および装置の操作ミスを低減

システム構成

CELLBrainは、利用規模に応じて柔軟にシステムを拡張することができます。

 

基本構成

CELLBrainの概要

 

動作環境

CELLBrain

CPU: Pentium4 2.8GHz
メモリー: 512GB 以上
※ 装置接続台数により異なります。
※ 最新のWindows OSおよびその他プラットフォームへの対応状況につきましては、お問い合せください

BrainSETTER、CELLManager

CPU : Pentium4 2.8GHz
メモリー: 512GB 以上
※ 最新のWindows OSへの対応状況につきましては、お問い合せください

CELLBrainの保守・運用について知りたい
概要:

CELLBrainの保守・運用について知りたい

CELLBrainの導入について知りたい
概要:

CELLBrainの導入について知りたい

CELLBrainの効果とメリットについて知りたい
概要:

CELLBrainの効果とメリットについて知りたい

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください


お問い合わせ
トップ