横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

CELLBRAIN on e-RT3

お知らせ: 本製品は、2018年3月31日に販売終了しております。 下記の推奨代替製品をご参照ください。:

CELLBRAIN on e-RT3 は、半導体や FPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラを PLC(Programable Logic Controller)上で実現したパッケージです。製造管理システム(MES)と装置(SECS-II/HSMS)をオンラインで接続し、ラインの自動化、効率的な装置の群管理を実現します。

詳細

製品概要

CELLBRAIN on e-RT3 は、Windows PC システムとして開発されたCELLBrainの機能である、業界標準仕様、SEMIスタンダード (GEM, GEM300) に対応した半導体・FPD 製造装置と製造管理システム (MES) を接続し、オンライン化 (自動化) を組み込みOS を採用した PLC上で実現します。セル・コントローラとして貴社で導入予定/導入済みの製造装置のきめ細やかな高度制御、データ収集が PC レスの環境で実現可能です。

 

特長

業界標準

  • SEMI より発行されている GEM、GEM300 (CMS, CJM, PJM, STS,OSS) スタンダードに対応
  • SEMI をはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックを実施

統一プラットフォーム

  • 同一ライン内で 300mm 対応装置だけではなく、GEM 準拠装置や従来の SECS-II べースとの混在接続が可能

運営管理支援アプリケーション

  • 複数のCELLBRAINや、装置毎の定義情報を一括管理するための Webマネージャーアプリケーション

脱 Windows

  • Windows PC 上のシステムではなく、組み込みOS を使用した PLC上で上記機能を実現
CELLBrain概要

 オンライン業務支援 (OBS:Online Business Service) との連携

半導体・FDP 製造工場のシステム運用の観点から、装置のオンライン化の業務を支援するOBS(Online Business Service) と連携し製造ラインの垂直立上を実現

 

主な導入業種

  • 半導体製造工場
  • FPD 製造工程
  • 電子デバイス製造工程

 

 

機能

CELLBRAIN on e-RT3 は、SEMIスタンダードに対応したオンライン機能を持った半導体・FPD製造装置を接続し、製造管理システム(MES)とのデータインタフェースを実現します。

 

基本機能

CELLBRAIN on e-RT3の機能

  • 装置情報管理
  • ロット情報管理
  • シナリオ設定機能
    (メッセージ、イベント、ステータス、リモートコマンド、アラーム、エラーメッセージなど)
  • GEM、GEM300 機能
  • 実績収集機能
  • 対装置通信機能(HSMS 通信、SECS-II 通信)

SEMIスタンダード対応

  • E37: HSMS 通信プロトコル
  • E5  : SECS-II メッセージスタンダード
  • E30: GEM (包括的装置モデル)
  • E39: オブジェクトサービススタンダード
  • E40: Process Job 管理
  • E94: コントロールジョブ゙管理
  • E87: キャリア管理スタンダード
  • E90: Substrate トラッキングスタンダード

 

拡張機能

  • シーケンスCPU 接続機能
    シーケンスCPU の I/O インターフェースより、装置シーケンサーデータなど、非SECS データの収集機能を組み込むことも可能です。これにより、簡易EES として装置運用改善にこれらのデータを使うことも可能です。
  • 装置特殊運用対応
  • 各種ホスト接続機能
  • PLC I/F 機能

 

優位性

  • オンライン制御対応による生産効率と信頼性の向上
  • 作業ミスの低減
  • 製造ラインの垂直立上
  • PLC上で稼働する脱Windows システムとして、パッチの適用、ウィルス対策などの管理工数を低減

導入効果

CELLBRAIN on e-RT3 は、オンライン制御(自動化)を実現することにより生産効率の向上、作業ミスの低減を実現します。また、脱Windowsとしてシステムの維持管理工数の低減を実現します。

 

経営効果

  • 各種多様な装置のオンライン化実績があり、貴社の製造工場の早期立ち上げ貢献
  • 装置効率の向上と製造コストの削減を実現

 

拡張機能

  • 装置のオンライン(自動)化により、省人化および装置の操作ミスを低減
  • パソコンではなく PLC上で稼働するため、Windows システム特有の管理工数を削減

システム構成

CELLBRAIN on e-RT3 は、利用規模に応じて柔軟にシステムを拡張することができます。

 

基本構成

CELLBRAIN on e-RT3 の概要

 

動作環境

CELLBAIN on e-RT3

  • Linux CPU モジュール
    型番: F3RP61-2R または F3RP61-2L
    OS: Linux (kernel.org Linux2.6.26.8 + patch2.6.26.8-rt16)
    CPU: MPC8347E 533MHz
  • 電源モジュール
    型番: F3PU20-0S
  • 5Slot ペースモジュール
    型番: F3BU05-0D
  • シーケンス CPUモジュール(オプション)
    型番: F3SP76-7S
    (ラダーでシナリオを組む場合や、簡易EES機能を実装する場合に必要なオプション品です)

管理サーバ

  • CPU : M1.2GHz
    メモリー: 1.24GB 以上

管理端末

  • OS: Windows
    (最新のWindows OS への対応状況につきましてはお問い合せください)

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください

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