横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

[小形圧力センサ 高精度圧力センサモジュール] 測定原理は何ですか?

MUシリーズは、横河電機が開発した「シリコンレゾナント」方式の半導体圧力センサ素子を用いて圧力を測定します。
「シリコンレゾナント方式」の圧力センサでは、数 mm 角のシリコンチップに形成されたダイアフラム(薄板)上に、微細加工技術( MEMS )を用いて、微小な振動子を形成します。圧力を受けてダイアフラムがたわむと、ダイアフラム上の振動子にかかる張力が変化し、振動子の固有周波数が変化します。この周波数の変化を検出して、圧力に対応した電気信号を得ます。

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