半導体・FPD

半導体・FPDの製造ライン全体のCIMシステム、及び製造・検査装置の制御・管理・通信について、業務支援からソフトウェアパッケージのご提供、エンジニアリングまでトータルなソリューションをご提供いたします。
装置オンライン(SECS/GEM)からライン全体の管理システムまでをワンストップで提供することによって、製造ラインを効率化し、製品開発や生産ラインでお客様が抱えている課題を解決します。また、ミニマルファブでは、半導体装置ビジネスで培った知見を生かし、お客様の装置の導入からファブ構築、運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供いたします。横河ミニマルアプリケーションラボでの試作やトレーニングなどもご相談ください。

ミニマルファブソリューション

IoT時代の到来で、求められる半導体は少量多品種、変種変量となっており、その生産に対応した装置の需要が増しています。それを実現するのがミニマルファブであり、当社はそのコンサルティングからアフターサービスまで、トータルなソリューションを提供しています。
半導体装置メーカー向けソリューション

経営課題の解決からオンライン通信(SECS・GEM・EDA I/F) 、EES(Equipment Engineering System)、IoT・AI・ビッグデータを駆使したデータ解析や予防保全(CBM)に至るまで、半導体装置メーカー様の課題を解決するトータルソリューションの提供を行っています。
デバイスメーカー向けソリューション

YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。