横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

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前工程サービス
ライフサイクルサービス

前工程サービス

当社はYOKOGAWAブランドの名において、IA（Industrial Automation）やテスタサービスのノウハウ、そして、そのインフラやネットワークをフルに活用し、移管を受けた製品について装置メーカー様と同等の高品質なサービスを提供いたします。
それにより、半導体メーカー様はレガシー装置を長期に安定して使用できるようになり、また、装置メーカー様はリソースを最新鋭の装置に集中・活用できるようになり、当社はお客様の発展に貢献することでサービスビジネスの拡大を図ることができるという、三者がWinとなるトリプルウィンの関係を目指しています。

お取引先様への大切なお知らせ

詳細

サービス維持契約のご案内

高品質なサービス提供体制を維持するため、当社では「サービス維持契約」を導入しております。
この契約をご締結いただいたお客様にのみ、専用回線による電話対応も含めた下記サービスをご提供いたします。また、改造案件等への対応も行っておりますので、ご相談ください。

※サービス対象製品は「取扱製品」タブをご覧ください。
※サービス維持契約を締結されていないお客様向けのサービスは部品（パーツ）販売のみとなります。

 

サービス対象機種以外のサービス

当社のサービス対象機種以外につきましても、以下のようなソリューションをご用意しております。ぜひご相談ください。 

電話（コール）対応

機種に応じたエンジニアを配置し、お客様からのお問い合わせに的確なご回答やご提案を行ないます。さらにお客様のご要望に応じてご訪問の日程調整や日程に合わせたエンジニアや部品（パーツ）の手配も行ないます。 

オーバーホール

お客様の装置が安定稼働し生産活動に集中していただけるように、装置のライフサイクル全般にわたり、保全・メンテナンスに関する提案型のオーバーホールなどを展開しています。

部品（パーツ）販売

お客様に可能な限り短納期で納品できるよう、取扱製品の部品を豊富にストックしております。
また、入庫時・出庫時ともクリーンルームにおいて現品確認を行い出庫するなど、品質維持・向上に努めています。

サービス維持契約のあるお客様

部品番号がわからない部品について

  • 部品番号の特定をいたしますので、お問い合わせください。

生産中止部品について

  • 可能な限り代替品の検討・ご提案をいたしますので、お問い合わせください。

サービス維持契約のないお客様

  • 部品番号を特定のうえ、ご注文をお願いいたします。
  • 生産中止品は除きます。

改善提案

当社がお勧めしている改善提案の資料です。
横型拡散炉やOZにつきましてはすでに生産中止後10年以上経過しています。老朽化による故障の確率が高くなっており、さらに使用している部品は生産中止品が多く、修繕が困難となっているものも多いため、ぜひご検討ください。

 

横型拡散炉（東京エレクトロン）
1 T/Cホルダ交換及び補償導線レール導入のおすすめ  ◀NEW
2 CP800R用データロギングシステムのご紹介
3 東京エレクトロン社製横型拡散CP800A-R(リニューアル品）のご紹介  　
4 東京エレクトロン社製横型拡散炉CP800SG-R(リニューアル品）のご紹介  
5 東京エレクトロン社製横型拡散炉M300-Rのご紹介  　
6 横型拡散炉 トータル制御システム“YFits”のご紹介  　
7 横型炉 F type T-BAWL制御システム更新のご紹介  　
8 BE727-Rプレリリース  　
9 恒温槽リニューアルのご紹介
10 M3100用データロギングシステムのご紹介
11 EXCESSメータボックスのご紹介
12 SCR DRAWER(LH,RH)共通化
13 TCダイレクト・ケーブルへの更新
14 トランス用端子台劣化更新のご案内
15 地震対策用固定アングルのご紹介
16 JUNCTION BOXのご紹介（PT100固定改善）
17 V&MFC_BOXリニューアル品のご紹介
18 DDC用MFC電源リニューアルのお勧め
19 光コネクタ変換基板のご紹介

 

OZ
1 OZ/HG データロギングシステムのご紹介  ◀NEW
2 OZ大気GV オーバーホールのご紹介  ◀NEW
3 プラズマ発光モニターEV-140Cのご紹介  ◀NEW
4 OZ3000用 新型アライナーのご紹介  ◀NEW
5 代替タッチパネルディスプレイのご紹介
6 コントローラリニューアルのご紹介  　
7 OZ用テンキーボード代替品のご紹介
8 OZ/HG用フラッシュドライブのご紹介
9 OZ ECR試料台リフトピン下降センサ追加改造のご紹介
10 代替真空ロボットのご紹介 真空ロボット2軸2ピック
11 代替大気ロボットのご紹介 大気ロボット3軸2ピック
12 代替オリフラユニットのご紹介 φ4"～8"ウェハ対応アライナ
13 代替Wetサーボモータのご紹介
14 代替ターボ分子ポンプのご紹介 水冷式ターボ分子ポンプ
15 代替ECRメインバルブのご紹介 コントロールゲートバルブ 10in
16 代替2チャンネルチラーのご紹介 デュアル恒温水循環装置
17 OZ5500/HG5000/HG6000用 RF電源システム後継品のご紹介
18 OZ3000用 RF電源システム後継品のご紹介
19 OZ/HG用 イオンゲージコントローラ 後継品のご紹介
20 OZ/HGシリーズ 新型コイル用直流電源のご紹介

 

Piezocon（濃度計）
1 既設TCSガス濃度計システム代替品のご提案 Piezocon

※Piezoconの詳細についてはこちらのページもご覧ください。

 

TEL-ETCH（東京エレクトロン）
1 TEL-ETCH圧力スイッチ代替品のご紹介  ◀NEW

 

※ Partner Portalのご契約者様専用サイト「半導体前工程サービス」のページは、2019年6月6日をもって終了しました。

 

引取修理

高度な技術とノウハウを持ったエンジニアと設備を完備し、また専門企業との良好な協力関係を築いています。
さらに緊急度に応じて代替品の発送も行なうなど、装置が安定稼働できる対応を行なっております。

なお引取修理依頼書のご依頼については、修理依頼書（PDF）に必要事項をご記入・FAXいただいた上で、
修理品をご送付下さい。

リファービッシュ

お客様の生産設備増強のご要望にお応えして、当社の高度なノウハウを駆使し、新たに装置を購入される場合に比べて低コスト、短納期な最善の解決策をご提供します。また、お客様の視点に立った、以下のサービスを一貫して行なっています。

  1. 対象装置の選定
  2. インスペクション
  3. 仕様調整
  4. リファービッシュ
  5. 納入・スタートアップ

特に、仕様調整においては、メーカー公認サービスを通してこれまで培ってきたサービス技術を駆使し、お客様のニーズにお応えします。

リファービッシュ

※リファービッシュは、サービス維持契約のあるお客様のみにご提供しております。

出張修理

お客様の装置に支障が生じた場合に、高度な技術とノウハウを持ったエンジニアが現地に出向き、迅速で正確な対応で設備の機能を回復させ、お客様の機会損失を最小限にとどめます。 

メーカー公認サービスのご案内

当社は、装置メーカー各社様から各種装置のサービス業務を受託し、装置メーカー様と同等の高品質なサービスを半導体メーカー様へご提供する「メーカー公認サービス」を行っており、装置メーカー様のブランド力の維持・向上につなげるとともに、その活動から数々のノウハウを蓄積してまいりました。また、移管を受けた装置メーカー様とは定期的な技術交流会を行なうなど、WIN-WINの関係を構築しております。

サービス移管実績

当社には、豊富なサービス移管実績がございます。全ての装置メーカー様から大変好評をいただき、WIN-WINの関係を築いてこられたと自負しております。
今後も、多方面にこれら技術を活かしていきたいと考えております。過去の移管実績はこちらとなります。

東京エレクトロン：東京エレクトロン

TEL-ETCH       TEL-M 横型拡散炉 TE5000
　　TEL-ETCH 　　TEL-M 　　横型拡散炉 　　TE5000 　　TE8500

 

Lam：Lam RESEARCH

Rainbow エッチャー
  Rainbow エッチャー

 

住友金属：住友金属

OZエッチャー　　Helios アッシャー 　　 Sparkle CMP
      OZエッチャー        　　　　Helios アッシャー     　　　 Sparkle CMP

 

Revasum：Revasum（旧STRASBAUGH）

6DS-SP CMP
     6DS-SP CMP

 

SETEK：M.SETEK

M.SETEK
　　M.SETEK

装置延命化

レガシー装置のサポートにおける最大の問題である“延命化”に積極的に取り組んでおります。

  • 制御系一括更新（新規開発）
  • 各種リニューアルコントローラーの開発
  • 修理技術の確立
  • 中古部品のストック

移管後のサービス内容

移管後は、当社が責任を持ってサービスを行います。

  • 電話（コール）対応
  • 部品（パーツ）販売
  • 引取修理
  • 出張修理（オンコール対応）
  • オーバーホール
  • リファービッシュ

前工程取扱製品

※サービス維持契約対象製品（※M.SETEK社製品のみサポート契約となります。）

東京エレクトロン社製
  • TE480、TE580、TE680（TEL-ETCHシリーズ）
  • TE7400M、TE7500M、TE8400M、TE8500M（TEL-Mシリーズ）
  • 横型拡散炉
  • TE4000、TE5000（Kシリーズ）
  • TE8400、TE8500、TE8600（K8シリーズ）
Lam RESEARCH社製
  • Rainbow（エッチャー）
住友金属工業社製
  • OZ3000、OZ4000、OZ5500、HG5000、HG6000（OZ・HGシリーズ）（エッチャー）
  • Helios（アッシャー）
  • Sparkle CMP（CMP）
Revasum（旧STRASBAUGH）社製
  • STB P300（CMP）
  • 6DS-SP, 6EG, 6EC（CMP）
  • 7AF, 7AA-II（グラインダー）
M.SETEK社製
  • VRC/D-8000（レジスト塗布/現像機）
  • VS-8000（洗浄装置）

 

「サービス維持契約」を締結中のお客様へ

サービス受付

サービスのご提供は当社との「サービス維持契約」が必要となります。
「サービス維持契約」締結のお客様は専用回線へ、お手元にIDをご用意の上ご連絡ください。

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください

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