前工程サービス

電話（コール）対応

機種に応じたエンジニアを配置し、お客様からのお問い合わせに的確なご回答やご提案を行ないます。さらにお客様のご要望に応じてご訪問の日程調整や日程に合わせたエンジニアや部品（パーツ）の手配も行ないます。 

オーバーホール

お客様の装置が安定稼働し生産活動に集中していただけるように、装置のライフサイクル全般にわたり、保全・メンテナンスに関する提案型のオーバーホールなどを展開しています。

部品（パーツ）販売

お客様に可能な限り短納期で納品できるよう、取扱製品の部品を豊富にストックしております。
また、入庫時・出庫時ともクリーンルームにおいて現品確認を行い出庫するなど、品質維持・向上に努めています。

サービス維持契約のあるお客様

部品番号がわからない部品について

• 部品番号の特定をいたしますので、お問い合わせください。

生産中止部品について

• 可能な限り代替品の検討・ご提案をいたしますので、お問い合わせください。

サービス維持契約のないお客様

• 部品番号を特定のうえ、ご注文をお願いいたします。
• 生産中止品は除きます。

改善提案

下記PDFファイルは、当社が行なってきた改善提案のサンプルです。
サービス維持契約のあるお客様は、ダウンロードページより、その他の100を超える改善提案資料をご覧いただくことができます。

•  DDC9900R　チューブコントローラ（240KB）
•  DDC5000R　チューブコントローラ（241KB）

すでに生産中止後10年以上経過し、老朽化による故障の確率が高くなっており、さらに使用している部品は生産中止品が多く、修繕が困難になりました。よってこの改善を提案します。

•  横型拡散炉専用　BANK 5000R（231KB）

現在ご使用のCPUボードは、2003年に保守サービスを停止しましたので、故障した場合に修理できない可能性があります。よってこの改善を提案します。

改善提案資料ダウンロード

前工程装置の改善提案資料はサービス維持契約を締結していただいたお客様が閲覧できます。
ご利用いただくためには、あらかじめユーザー登録が必要です。
"Partner Portal"へのご登録がお済みでないお客様は、お問い合わせ（半導体装置サービスに関する）までご連絡下さい。
登録に必要な手続きをご案内致します。

会員サイト Partner Portal からのログイン方法

ユーザー登録が完了しましたご契約者様が、会員サイト Partner Portal にログインすると、サイトの右側のMy Linkに「半導体前工程サービス」が表示されます。こちらからご覧ください。

※ ログインには、ID と Password が必要です。

引取修理

高度な技術とノウハウを持ったエンジニアと設備を完備し、また専門企業との良好な協力関係を築いています。
さらに緊急度に応じて代替品の発送も行なうなど、装置が安定稼働できる対応を行なっております。

なお引取修理依頼書のご依頼については、修理依頼書（PDF）に必要事項をご記入・FAXいただいた上で、
修理品をご送付下さい。

• 修理依頼書 （170KB）

リファービッシュ

お客様の生産設備増強のご要望にお応えして、当社の高度なノウハウを駆使し、新たに装置を購入される場合に比べて低コスト、短納期な最善の解決策をご提供します。また、お客様の視点に立った、以下のサービスを一貫して行なっています。

1. 対象装置の選定
2. インスペクション
3. 仕様調整
4. リファービッシュ
5. 納入・スタートアップ

特に、仕様調整においては、メーカー公認サービスを通してこれまで培ってきたサービス技術を駆使し、お客様のニーズにお応えします。

※リファービッシュは、サービス維持契約のあるお客様のみにご提供しております。

出張修理

お客様の装置に支障が生じた場合に、高度な技術とノウハウを持ったエンジニアが現地に出向き、迅速で正確な対応で設備の機能を回復させ、お客様の機会損失を最小限にとどめます。