横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

CIMVision-semi

半導体製造工場における製造管理、工程管理を実現する MESパッケージです。最先端300mmウェハ製造工場の製造現場に求められる機能要件を網羅しています。

詳細

製品概要

CIMVision-semi は、豊富なMES導入実績に基づき、最先端 300mmウェハ製造工場に求められる要件を備えた半導体製造管理をおこなうためのシステムパッケージ(MES)です。 短期間で確実にASICライン、研究試作ラインに必要となる詳細なプロセス制御を実現します。 POP的な工程進捗管理を中心としたシステムから、自動化対応ラインまで拡張性、柔軟性のあるフレキシブルな構成、対象ライン、および管理規模に応じたシステム構築を実現します。 ディスパッチャ管理、SPC制御情報管理や装置・搬送管理システムなどと非常に高い親和性を有しており、これらとのインテグレーションにより工場全体の統一運用を柔軟且つ高次元に支援します。

CIMVision-semi とは

特長

量産工場・最先端の試作研究ラインでの実績

  • 量産工場・試作研究ラインでの運用実績
  • 全自動化対応ラインから手入力による工程進捗管理まで拡張性/柔軟性のある構成

業界標準

  • SEMIをはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックしています

統一プラットフォーム

  • 300 mm対応装置だけでなく、GEM準拠装置や従来のSECS-IIベースの混在装置を接続する既存のCELLBrainの上位互換のパッケージです。

オープンなデータ活用が可能

  • データベース設計情報の開示によりオープンなデータ活用が可能
  • 既存システムとのデータ連携が容易

最小のハードウエアリソースで運用、早期立上げ

  • ハードウェア・プラットフォームに依存しない(商用UNIX, Linux, Windows可能)
  • 弊社オリジナルパッケージの強みとして、要件に合わせたカスタマイズと早期の立上げが可能

 

導入業種

半導体製造工場(300mm・200mmライン)

  • 導入実績:14社20工場

機能

最先端 300mmウェハ製造工場に求められる用件、および量産工場で求められる性能を盛り込んだ半導体製造管理パッケージです。

 

基本機能

基礎情報管理(マスター)

  • ユーザー定義
  • 製品定義
  • 工程フロー定義

設備情報

  • 装置定義

工程管理情報

  • ロット投入計画
  • ロット投入
  • 品種振替
  • ロット分割/併合
  • ロット凍結
  • 枚葉管理(指示/実績)
  • 作業開始
  • 作業開始取消
  • 作業終了
  • 工程フロー挿入
  • 作業工程巣スキップ
  • 再処理工程フロー
  • ロット指示
  • 制約時間設定

測定情報

  • 測定実績

作業実績情報

  • ロット作業実績
  • ウェハー作業実績
  • ロット操作履歴
  • プロセス実績

 

拡張機能

SPC制御情報管理

ディスパッチャ管理

レシピ管理システム(e-RecipeSTORE)

  • レシピ管理システムは、レシピ内容の確実なトラッキングと保持、統一したユーザーインターフェイスを実現し、レシピを集中管理するためのパッケージです。CIMVision - semiとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションが提供できます。

装置オンラインシステム(CELLBrain)

  • 装置オンラインシステムは、装置オンライン化を含む、セルコントロールシステムを容易に構築するためのパッケージです。CIMVision-semiとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションが提供できます。

露光工程インライン管理システム(PIM)

  • 露光工程インライン管理システムは、露光工程インライン化を容易に構築するためのパッケージです。装置オンラインシステム(CELLBrain)とのシームレスな接続が可能で、下位から上位までのソリューションが提供できます。

 

優位性

  • 多品種少量生産から量産に柔軟に対応します。
  • 品質規格外れロットの早期検出、次工程作業阻止。
  • 進捗情報や生産実績、生産履歴などをリアルタイムに情報を提供します。
  • 搬送作業の負荷を軽減します。

導入効果

製造コスト削減、生産性および品質の向上、生産サイクルの短縮を実現します。

 

経営効果

  • 半導体工場の早期立ち上げの豊富な実績を持ち、お客様にあった製造工場を短期間にて導入できます。
  • お客様独自の運用ルールや業務プロセスを追加し、競争力のあるシステムを構築できます。
  • 電子デバイス業界のトレンドを踏まえ、最新のテクノロジを利用できます。
  • 初期投資コストを適正化し、工場の耐用年数にわたって所有コストを低く抑えることができます。
  • 装置効率の向上と製造コストの削減を実現します。

 

業務効果

  • 設備の自動制御により、省人化及び設備の操作ミスを低減します。
  • 品質・製造履歴管理機能を使用して、品質データの収集・解析を行うことで品質管理レベルの向上を支援します。
  • リアルタイムディスパッチャ機能により、効率的な搬送が可能です。

システム構成

Cimvision-semiは、最先端300mmウェハ製造工場に求められる用件、および量産工場に求められる性能を盛り込んだ半導体製造管理パッケージです。

 

基本構成

Cimvision™-semi基本システム構成

 

動作環境

サーバー

  • ハードウェア
    サーバー: システム規模により可変
    メモリー: システム規模により可変
    ハードディスク: システム規模により可変
    インターフェイス: システム規模により可変
  • OS

UNIX / Linux / Windows / RDB
(最新のOSへの対応状況につきましては、お問い合わせください)

 

クライアント

OS: 最新のWindows OSへの対応状況につきましては、お問い合わせください
CPU: Celeron 700 Mhz以上
メモリ: 512 MB以上(推奨)
ハードディスク: 10 GB以上
インターフェース・カード: Ethernetカード(対ホストなど)

関連情報

CIMVision-semiの効果とメリットについて知りたい
概要:

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CIMVision-semiの導入について知りたい
概要:

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CIMVision-semiの保守・運用について知りたい
概要:

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