半導体・FPD

  • CELLBrainは、半導体やFPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラ・ソフトウェアです。製造管理システム (MES) と装置 (SECS/HSMS/PLC等) をオンラインで接続します。 

  • CIMVision–eDeviceは、電子デバイス製造工場における製造管理、工程管理を実現する MES パッケージです。

  • CIMVision–FPDは、FPD 製造工場における製造管理、工程管理を実現する MES パッケージです。半導体製造工場などへの豊富なMES導入実績に基づき、FPD 製造現場に求められる機能要件を網羅し、上位生産管理とのI/F、製造実績のトレーサビリティを確立します。

  • CIMVision-semiは、半導体製造工場における製造管理、工程管理を実現する MESパッケージです。最先端300mmウェハ製造工場の製造現場に求められる機能要件を網羅し、上位生産管理とのI/F、製造実績のトレーサビリティを確立します。

  • OBS(Online Business Service)は、半導体・FPD製造工場のシステム運用の観点(装置運用・オペレータの動線・システム化運用)に立ち、オンライン検討→設計→開発管理→テスト(エミュレータ、立会い)→リリース→保守まで、ラインの立上げを一貫してサポートする業務サービスを提供します。

  • e-RecipeSTOREは、半導体 SEMI Standard に対応したレシピ管理システム(RMS)です。レシピ管理は手間がかかるだけではなく、大量のスクラップウェハに直結するなどリスクの高い業務です。e-RecipeSTOREはレシピ管理業務の効率化と安全なレシピ運用を実現します。

  • flusso は、製造業における技術データを連携し、業務プロセスの見える化を行う BPM(Business Process Management)プラットフォームを提供いたします。製造業ならではの柔軟性の高いワークフロー管理と、属人化しやすい技術情報のドキュメント管理を併せて実現します。

  • PIM

    PIMは、半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御し、フォトリソ工程のインライン制御を実現するソフトウェアです。オンラインコントローラと露光機・塗布現像機のI/Fを実現します。

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