半導体・FPD

  • 半導体やFPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラ・ソフトウェアです。製造管理システムとSECS/HSMS/PLC等を実装した装置をオンラインで接続します。

  • 電子デバイス製造工場における製造管理、工程管理を実現する MES パッケージです。

  • FPD 製造工場における製造管理、工程管理を実現する MES パッケージです。豊富な導入実績に基づいた充実した機能群で、上位生産管理とのI/Fや製造実績のトレーサビリティを確立します。

  • 半導体製造工場における製造管理、工程管理を実現する MESパッケージです。最先端300mmウェハ製造工場の製造現場に求められる機能要件を網羅しています。

  • 半導体・FPD製造工場のシステム運用の観点に立ち、オンライン検討・設計・開発管理・テスト・リリース・保守まで、ラインの立上げを一貫してサポートする業務サービスです。

  • 半導体 SEMI Standard に対応したレシピ管理システム(RMS)です。e-RecipeSTOREはレシピ管理業務の効率化と安全なレシピ運用を実現します。

  • 製造業における技術データを連携し、業務プロセスの見える化を行う BPM(Business Process Management)プラットフォームを提供いたします。

  • PIM

    半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御し、フォトリソ工程のインライン制御を実現するソフトウェアです。オンラインコントローラと露光機・塗布現像機のI/Fを実現します。

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