横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

半導体装置

半導体装置

経営課題の解決からオンライン通信 (SECS・GEM・EDA I/F) 、EES (Equipment Engineering System) 、IoT・AI・ビッグデータを駆使したデータ解析や予防保全 (CBM) に至るまで、半導体装置メーカー様の課題を解決するトータルソリューションの提供を行っています。

20年以上に渡り、合計70社100機種10000ライセンス以上の実績を積み重ねてきた、大変信頼性が高く将来も安心なパッケージです。

e-fabDoctor は、業界標準仕様の最新 SEMI スタンダードに準拠した装置データ/プロセスデータの収集と解析のための EES プラットフォームです。

EQBrain A-oneは、SMT 装置を容易にそして安価に、SEMI SMT-ELS 標準に準拠した装置へとアップグレードできます。

半導体装置でよく使われる用語集です。

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