お客様から寄せられたe-RecipeSTOREの導入について、よくある質問をご紹介いたします。課題解決にご活用下さい。
Q1:他社のオンラインコントローラを使用している場合でも、e-RecipeSTORE を導入できますか?
A1:はい。できます。方法としては、主に以下の2つが考えられます。
- オンラインコントローラ用に API を提供させていただき、オンラインコントーラに組み込んでいただく。
- 装置とオンラインコントローラの間に端末を設置し、通常のオンラインメッセージとレシピ操作のメッセージを分離/結合する。
Q2:装置との通信インターフェースはどうなっていますか?
A2:通常は、HSMS(またはSECS-I)のStream Function S7Fx を使用します。 他の Stream Function、あるいは別の通信インターフェースをご使用になることも可能です。詳細は通信仕様など確認させていただいた上で、ご提案させていただきます。
Q3:SECS/HSMS 通信以外のインターフェースは使用できますか?
A3:ケースバイケースになります。e-RecipeSTORE としては、何かしらの通信によってレシピを取得、展開できれば、管理は可能です。どのような通信方法によってそれが可能になるか、装置仕様など詳細をご相談させていただいた上で、ご提案させていただきます。
Q4:どのような装置が対応可能ですか?
A4:まずは HSMS(またはSECS-I)の Stream Function S7Fx をサポートしている装置が対象となります。 但し、S7Fx をサポートしていても、最終的には装置の仕様を確認することが必要となります。また、逆に S7Fx をサポートしていない場合でも、上記のように他の手法で対応可能な装置もあります。横河電機では、ターゲット機種に対し、必要な装置仕様の調査から運用方法のご提案まで、導入業務に関しても幅広く請け負わせていただきます。
業種
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デバイスメーカー向けソリューション
YOKOGAWA は、製造プロセス、製造ライン全体から企業経営に至る領域を対象としたトータルソリューションを提供し、半導体製造業を取り巻く多くの課題解決のお手伝いをいたします。
関連製品&ソリューション
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e-RecipeSTORE
半導体 SEMI Standard に対応したレシピ管理システム(RMS)です。e-RecipeSTOREはレシピ管理業務の効率化と安全なレシピ運用を実現します。