横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

OX100/OX102の測定ガスの条件と制限事項について

測定対象ガス:
窒素ガスおよび混合ガス(シリコンガス、可燃性ガス、腐食性ガス、酸化還元ガスおよび有機溶剤を除く)中の酸素濃度

測定対象ガスの条件:

  • 測定対象ガス温度:0~70℃
  • 測定対象ガス湿度:20~80%RH(ただし、結露なきこと)
  • 測定対象ガス圧力:1013±40hPa
  • 測定対象ガス流速:1m/sec以下

可燃性ガスや腐食性ガスを含んでいるガスの測定はできません。
水素、一酸化炭素、メタンおよびプロパンを含んでいるガスの測定もできません。

関連製品&ソリューション

限界電流式酸素濃度計 OX102

ppmレベルの低濃度から空気レベルの%オーダまで、1台で高性能に測定します。
N2リフロー炉の炉内ガスや半導体雰囲気管理用に最適です。

雰囲気ガス管理用酸素濃度計 OX100

リフロー炉、グローブボックスなどの半導体・電子部品の各種製造プロセス、雰囲気ガス中の酸素濃度監視、クリーンルームの酸欠監視用に最適な限界電流式酸素濃度計です。
 

トップ