[小形圧力センサ FPシリーズ] 測定原理は何ですか?

圧力センサの原理は多数あり、よく知られているのは、歪ゲージ式、半導体ピエゾ抵抗式、静電容量式、シリコンレゾナント式などがあります。
FP シリーズは単結晶シリコンを素材とした半導体ピエゾ抵抗式のセンサを用いています。ダイアフラム部に加わる圧力によって、4 ブリッジに形成された抵抗素子の抵抗値変化を電気信号として取り出し、4 - 20 mA DC または、1 - 5 V DC の電気信号として出力します。また、半導体素子を測定流体から保護する為、耐食性金属のダイアフラム隔壁を設け、内部に封入された高純度シリコンオイルを介してセンサ素子に圧力を伝えます。
「小形圧力センサガイドブック」の「半導体圧力センサの原理」をご参照ください。