e-RecipeSTORE （販売終了製品）

製品概要

e-RecipeSTOREは、半導体デバイス製造装置のレシピを効果的に管理する SEMI Standard 対応の RMS (レシピ管理システム/Recipe Management System) です。
レシピ変更の確実なトラッキングと保持、統一したユーザーインターフェイスを実現し、レシピを集中管理します。これにより、レシピ管理に要する工数の低減と人為ミスによる製品スクラップを防ぎます。

特長

• Webサーバー・Webクライアントにより、レシピ管理作業をクリーンルームから解放
• これまで装置にしか存在しなかったレシピの操作履歴、レシピボディの詳細を見える化
• 重要な機密事項であるレシピは、細かなユーザ権限制御で、必要な人に、必要なところだけ情報共有
• レシピ管理の効率化、作業負荷低減によるコストダウン
• システムによるパラメータチェック、ステータス管理による制御で人為的ミスを低減
• 装置メーカ、機種ごとに異なるレシピ構造を吸収する、テンプレートフリー、レイアウトフリー化

 

導入業種

• 半導体（デバイスメーカー、装置メーカー）
• FPD (Flat Panel Display) パネル
• 太陽電池

機能

SEMI Standard 準拠といっても、レシピの考え方は装置によって様々です。
e-RecipeSTOREは、半導体製造業のオンラインコントローラ、オンライン業務支援の経験を生かし、装置間差の仕様を吸収しながら、効果的なレシピ管理を実現します。

 

基本機能

レシピの一覧表示機能

各機種、号機に登録されているレシピの一覧はもちろん、装置とe-RecipeSTORE (RMS/レシピ管理システム) の同期状態やメインレシピ (フローレシピ) とサブレシピ (プロセスレシピ) の連携状態、他装置への展開状態、検索キーによる絞り込みなど、多彩な表現でレシピの状態を見える化します。

レシピのアップロード機能

SECS 通信のS7Fx に代表されるレシピ操作コマンドを活用し、既存装置からオンラインでレシピを吸い上げます。また、アップロード時に、装置とe-RecipeSTORE (RMS/レシピ管理システム) の差分を表示するなど、要所要所で整合性を確認し、人為的ミスの軽減に努めます。

レシピの編集機能

レシピ編集作業を、作業効率の悪いクリーンルームから解放し、業務効率を改善します。また、入力されたパラメータの整合性チェック (閾値、型、他パラメータの参照など) により、レシピ管理の作業負荷を軽減し、人為的ミスを軽減します。レシピ編集中は、レシピのチェックイン／チェックアウト、承認機能などにより、ご操作や重複作業によるミスを排除します。また、e-RecipeSTORE (RMS/レシピ管理システム) 上で編集されたレシピは、ダウンロードされるまでは装置やロット処理に影響を与えません。いつでも安心して作業を行うことができます。

レシピのコピー (展開) 機能

他の装置 (号機) のレシピやPPIDの異なるレシピ、過去バージョンのレシピなどから、レシピをコピーすることにより、展開工数を低減し、派生レシピの保守管理業務を効率化します。

レシピの比較機能

他の装置 (号機) のレシピやPPIDの異なるレシピ、過去バージョンのレシピなどe-RecipeSTORE (RMS/レシピ管理システム) の持つ全てのレシピボディを比較表示することができます。展開状況の確認などにかかる作業負荷を低減し、組織を横断した情報共有で、作業の属人化を排除し、スキル共有による業務改革を促します。

レシピのダウンロード機能

SECS通信のS7Fx に代表されるレシピ操作コマンドを活用し、既存装置へオンラインでレシピを展開します。また、ダウンロード時には、編集状態による制御や、装置とe-RecipeSTORE (RMS/レシピ管理システム) の差分を表示するなど、要所要所で整合性を確認し、人為的ミスの軽減に努めます。

レシピのテンプレート化

レシピの構造は装置によってマチマチです。e-RecipeSTORE (RMS/レシピ管理システム) なら、プログラムレスのテンプレート定義に よって、様々なタイプのレシピに対応できます。また、テンプレートの設定により、パラメータごとに参照・編集権限を設定できますので、必要なものだけを、必要な人にだけ、開示することが可能です。

 

拡張機能

運用にあわせたカスタマイズ機能

レシピは製造・品質に直結する重要なファクターです。当然、お客様によってその管理や運用への適用にはそれぞれの考え方やノウハウがあります。
ロットの着工指示などに合わせたレシピを有効化するタイミングや同期チェックのタイミングなど、お客様の運用に即したシステムをご提案いたします。

APC、EESや他の解析システムと連携した高度なレシピ制御

APCなど外部のツールと連携し、リアルタイムに、最適なレシピパラメータをチューニングすることにより、更に高度な制御が可能となります。

 

優位性

オンラインコントローラ・オンライン支援業務との連携

SEMI Standard の規定があるとはいえ、レシピの詳細は製造装置によってマチマチです。横河電機には、装置コントローラ (EQBrain)、オンラインコントローラ (CELLBrain) の開発やオンライン業務支援 (OBS：Online Business Service) の豊富な経験があります。レシピの構造はもちろん、使用するStream Function やオンラインシナリオなど、あらゆる角度から検討し、レシピ管理業務の効率最大化とロット処理への影響が最小化をご提案します。

導入効果

装置ごとに仕様の異なるレシピは、管理コストも高く、誤ったときには大量のスクラップウェハを出す原因ともなりかねません。レシピ管理を効率的に行うことは、業務効率改善に依るコストダウンだけでなく、損失の低減にも役立ちます。

 

経営効果

• レシピ管理の効率化によるコスト削減
• スクラップウェハの予防によるコスト削減
• タイムリーなレシピの更新による迅速な立上げ、競争力強化

 

業務効果

• レシピ管理の作業負荷軽減、工数削減、運用保守費の削減
• 見える化、情報共有によるスキル伝承、スキル共有
• システムによるパラメータチェック、ステータス管理、承認管理などによる誤操作帽子、人為的ミスの低減
• 問題発生時の原因究明による再発防止

システム構成

e-RecipeSTORE は、規模に応じて柔軟なシステム拡張を行うことができます。

 

基本構成

Webサーバ＋Webクライアント

 

動作環境

• サーバー： 2003以降（ご要望によりLinuxにも対応可能）
• （最新のWindows OSへの対応状況につきましてはお問い合わせください）