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パートナー製品

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パートナー製品 取扱製品一覧

パートナー製品

 製品の詳細につきましては、各リーフレット(PDF)をご覧下さい。

Veeco(ビーコ)社製

ガス濃度センサ Piezocon® (ピエゾコン) 

こんなにある!Piezocon® (ピエゾコン) の導入効果!

Piezocon® Precision Gas Mixing System (GMS)

~原材料ガスの使用量が1/50に?!~ Piezocon®精密ガス混合システムの導入効果!

 「Piezocon®」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
※当社は、米国Veeco社製 「Piezocon®」と「Piezocon® Precision Gas Mixing System」の日本国内における正規代理店です。

Piezocon® 特設ページへ >>

C'sTEC(シーズテック)社製

どこでもクリーンブースZ

 「どこでもクリーンブースZ」は、いつでもどこでも設営可能な簡易クリーンブースです。全く新しいクリーンルームの考え方をご提案します!

Philtech(フィルテック)社製

シリンダー型ガス瞬間加熱装置 Heat Beam

 「Heat Beam」は、小さな空間で高効率に、瞬時に1,000℃まで加熱したガスを作り出す能力を持ち、ホットN2生成機としてとても有益です。

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