圧力センサの原理は多数あり、よく知られているのは、歪ゲージ抵抗式、半導体ピエゾ抵抗式、静電容量式、シリコンレゾナント式などがあります。各方式により圧力による変位や応力などの物理的な変化を、抵抗値や静電容量、周波数などの電気的な変化で検出します。
また、一部の封入液レスタイプを除き、測定流体からセンサ素子を保護するため、耐食性金属のダイアフラム隔壁を設け、内部に封入された高純度シリコンオイルを介してセンサ素子に圧力を伝える、2重ダイアフラム構造が主流です。
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FPシリーズ サニタリ圧力センサ
ISOサニタリ規格に準拠した食品装置用の圧力センサです。ゲージ圧力または絶対圧力を測定し、これを4～20mA DCまたは1～5V DC の信号に変換して発信・伝送します。 SIP、CIPには接液温度180℃高温対応タイプもラインアップしています。
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FPシリーズ 小形圧力センサ
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エキレス™シリーズ サニタリ圧力センサ
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高精度圧力センサモジュール
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